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1002450586

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射可以溅射非平面的样品吗? 已有3人参与

我想在管状镂空样品的表面镀金属膜(直径3mm左右),想用磁控溅射,这种非平面的样品可以用磁控溅射吗?或者有没有其他PVD方法推荐呢?求大神解答~~~~
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1002450586

新虫 (初入文坛)

求解答啊
2楼2015-10-30 14:53:56
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jhwang2010

银虫 (正式写手)

可以用离子注入与沉积的方法

发自小木虫Android客户端
3楼2015-10-30 19:27:12
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
1002450586: 金币+5 2015-11-02 16:15:06
磁控濺射需要靶材颗粒能够直接打碰到材料的表面而成膜。而楼主如此细的管子的内表面显然不易被外来的靶材颗粒打碰到。因此估计很难镀。能否考虑电镀或化学镀呢?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2015-10-31 06:31:16
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9412B

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
1002450586: 金币+1 2015-11-02 16:14:15
利用辉光放电,辉光放电可以覆盖全部表面。即使盲孔也是可以溅射的
5楼2015-11-01 13:24:31
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
1002450586: 金币+4 2015-11-02 16:15:14
应该是可以的,只是可能或导致镀层厚度不均;有兴趣的话把样拿来,我给你做做看。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
6楼2015-11-02 11:38:50
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

另外这种形状不规则的,用化学镀可以导致厚度均匀,我这里也有化学镀设备,你有兴趣的话,我也可以给你试试。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
7楼2015-11-02 11:40:28
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1002450586

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by jhwang2010 at 2015-10-30 19:27:12
可以用离子注入与沉积的方法

我咨询了做离子注入沉积的,内表面可能镀不到
8楼2015-11-02 14:04:55
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1002450586

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2015-10-31 06:31:16
磁控濺射需要靶材颗粒能够直接打碰到材料的表面而成膜。而楼主如此细的管子的内表面显然不易被外来的靶材颗粒打碰到。因此估计很难镀。能否考虑电镀或化学镀呢?
...

对,内表面是个问题,电镀我也准备做一下,另外,想请教一下,化学的方法镀膜,温度在300℃以下的还有哪些方法可能合适呢?
9楼2015-11-02 14:07:11
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1002450586

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 9412B at 2015-11-01 13:24:31
利用辉光放电,辉光放电可以覆盖全部表面。即使盲孔也是可以溅射的

我的样品可能内表面还是镀不到啊
10楼2015-11-02 14:08:42
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