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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 磁控溅射可以溅射非平面的样品吗？
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1002450586

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射可以溅射非平面的样品吗？ 已有3人参与

我想在管状镂空样品的表面镀金属膜（直径3mm左右），想用磁控溅射，这种非平面的样品可以用磁控溅射吗？或者有没有其他PVD方法推荐呢？求大神解答~~~~
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1楼 2015-10-30 11:19:25
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
9楼: Originally posted by 1002450586 at 2015-11-02 14:07:11
对，内表面是个问题，电镀我也准备做一下，另外，想请教一下，化学的方法镀膜，温度在300℃以下的还有哪些方法可能合适呢？...

一般开可以试试化学镀的方法。就是将需镀的表面进行敏化和活化后用化学还原试剂将无机盐中的金属离子还原出来并涂覆到先前经过敏化和活化后的表面。如在碳纳米管表面化学镀镍、铜、银等。
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15楼2015-11-02 15:18:04
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jhwang2010

银虫 (正式写手)
可以用离子注入与沉积的方法

发自小木虫Android客户端
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3楼2015-10-30 19:27:12
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
1002450586: 金币+5 2015-11-02 16:15:06
磁控濺射需要靶材颗粒能够直接打碰到材料的表面而成膜。而楼主如此细的管子的内表面显然不易被外来的靶材颗粒打碰到。因此估计很难镀。能否考虑电镀或化学镀呢？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2015-10-31 06:31:16
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9412B

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
1002450586: 金币+1 2015-11-02 16:14:15
利用辉光放电，辉光放电可以覆盖全部表面。即使盲孔也是可以溅射的
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5楼2015-11-01 13:24:31
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