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吴小元

金虫 (初入文坛)

[求助] 傅里叶红外测氧碳含量 已有2人参与

傅里叶红外测多晶硅氧、碳含量时,对多晶硅片的厚度有什么要求?谢谢
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坚持不放弃
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郭杰20080428

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
您可以直接选择氮氧分析仪,碳硫分析仪去定量测试呢,这个测试对样品要求不高
2楼2015-10-28 11:44:08
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木拓木博

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般要求2mm,由于氧的吸收峰明显,且和硅峰很容易区分,所以薄一点关系也不大,我们最薄测过120μm,也比较准确,但是碳就不一样,一是碳含量比氧含量低很多,并且碳峰和硅峰很近,很容易被干扰,薄了明显测不准,建议使用SIMS测试
3楼2015-10-28 16:51:55
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flgit

金虫 (小有名气)

2mm左右厚度
4楼2018-08-02 09:10:08
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