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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 傅里叶红外测氧碳含量
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吴小元

金虫 (初入文坛)

[求助] 傅里叶红外测氧碳含量 已有2人参与

傅里叶红外测多晶硅氧、碳含量时，对多晶硅片的厚度有什么要求？谢谢
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1楼 2015-10-28 09:08:23
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郭杰20080428

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
您可以直接选择氮氧分析仪，碳硫分析仪去定量测试呢，这个测试对样品要求不高
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2楼2015-10-28 11:44:08
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木拓木博

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般要求2mm，由于氧的吸收峰明显，且和硅峰很容易区分，所以薄一点关系也不大，我们最薄测过120μm，也比较准确，但是碳就不一样，一是碳含量比氧含量低很多，并且碳峰和硅峰很近，很容易被干扰，薄了明显测不准，建议使用SIMS测试
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3楼2015-10-28 16:51:55
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flgit

金虫 (小有名气)
2mm左右厚度
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4楼2018-08-02 09:10:08
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