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lanyupolo

银虫 (初入文坛)

[求助] 非晶态氧化铝膜是透明的吗 已有1人参与

如题,磁控溅射镀的氧化铝膜是黑的,但看文献都说是透明的,是不是和我的膜是非晶态有关?
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lanyupolo

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by sxchcgg872 at 2015-11-23 13:03:27
我告诉为啥你的是黑色的,你先做一个XRD看看到底是不是氧化铝再说,非常怀疑黑色的完全不是氧化铝,我做的非晶的氧化铝,厚度一个微米的,是透明的,无色

好的,多谢,我去试试。。。
3楼2015-12-07 10:42:55
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sxchcgg872

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我告诉为啥你的是黑色的,你先做一个XRD看看到底是不是氧化铝再说,非常怀疑黑色的完全不是氧化铝,我做的非晶的氧化铝,厚度一个微米的,是透明的,无色
2楼2015-11-23 13:03:27
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嘻嘻哈哈糖

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by lanyupolo at 2015-12-07 10:42:55
好的,多谢,我去试试。。。...

你好,请问您用的是直流还是射频溅射?谢谢了

发自小木虫Android客户端
4楼2017-05-18 12:23:17
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benbenyou

新虫 (初入文坛)

您好!你的问题解决了吗?我溅射也出现了同样的情况
5楼2017-11-15 10:41:33
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