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lanyupolo

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[求助] 非晶态氧化铝膜是透明的吗已有1人参与

如题，磁控溅射镀的氧化铝膜是黑的，但看文献都说是透明的，是不是和我的膜是非晶态有关？

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1楼2015-10-27 20:07:00

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benbenyou

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您好！你的问题解决了吗？我溅射也出现了同样的情况

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5楼2017-11-15 10:41:33

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sxchcgg872

铜虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

我告诉为啥你的是黑色的，你先做一个XRD看看到底是不是氧化铝再说，非常怀疑黑色的完全不是氧化铝，我做的非晶的氧化铝，厚度一个微米的，是透明的，无色

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2楼2015-11-23 13:03:27

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lanyupolo

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引用回帖:

2楼: Originally posted by sxchcgg872 at 2015-11-23 13:03:27
我告诉为啥你的是黑色的，你先做一个XRD看看到底是不是氧化铝再说，非常怀疑黑色的完全不是氧化铝，我做的非晶的氧化铝，厚度一个微米的，是透明的，无色

好的，多谢，我去试试。。。

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3楼2015-12-07 10:42:55

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嘻嘻哈哈糖

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引用回帖:

3楼: Originally posted by lanyupolo at 2015-12-07 10:42:55
好的，多谢，我去试试。。。...

你好，请问您用的是直流还是射频溅射？谢谢了

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4楼2017-05-18 12:23:17

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