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alexissp金虫 (正式写手)
干活的
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[交流]
【求助】急需知道常用导电衬底Si/SiO2/TiO2/Pt的制备工艺
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求助:急需知道常用导电衬底Si/SiO2/TiO2/Pt的制备工艺:譬如说(1)单晶Si上制备SiO2层的温度和时间,形成SiO2的厚度多少合适?(2)磁控溅射TiO2层需要衬底的温度,需要TiO2层的厚度通常为多少?SiO2层和TiO2层共烧温度和时间?(3)最后Pt层的厚度和烧结温度?谢谢! [ Last edited by NJUT_tiger on 2008-9-9 at 15:53 ] |
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2楼2008-09-08 21:27:03
alexissp
金虫 (正式写手)
干活的
- 应助: 0 (幼儿园)
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3楼2008-09-09 13:50:09













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