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alexissp金虫 (正式写手)
干活的
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[交流]
【求助】急需知道常用导电衬底Si/SiO2/TiO2/Pt的制备工艺
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求助：急需知道常用导电衬底Si/SiO2/TiO2/Pt的制备工艺：譬如说（1）单晶Si上制备SiO2层的温度和时间，形成SiO2的厚度多少合适？（2）磁控溅射TiO2层需要衬底的温度，需要TiO2层的厚度通常为多少？SiO2层和TiO2层共烧温度和时间？（3）最后Pt层的厚度和烧结温度？谢谢！ [ Last edited by NJUT_tiger on 2008-9-9 at 15:53 ] |
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2楼2008-09-08 21:27:03
alexissp
金虫 (正式写手)
干活的
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1428.3
- 帖子: 670
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- 虫号: 478745
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- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2008-09-09 13:50:09
