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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于薄膜材料刻蚀后的台阶测量深度问题，用到了台阶仪器
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[求助] 关于薄膜材料刻蚀后的台阶测量深度问题，用到了台阶仪器 已有2人参与

一般在光刻显影出图形后进行刻蚀，刻蚀掉没被掩膜遮住的部分，从而得到了相应图形。（对了解的人来说就是句废话，啰嗦了）
我拿到台阶仪下测量，发现很多时候测得多不准，分析原因可能是没刻蚀干净，残留部分凹凸不平，使得原本只有一个台阶的竟然测出的图形看到很多台阶。我想问问大家有没有遇到同样问题，或者说还有其他的原因所致。或许还有更好的办法测量台阶，希望能得到大家的回复，在此先感谢了。

关于薄膜材料刻蚀后的台阶测量深度问题，用到了台阶仪器
IMG_20151013_205449.jpg


关于薄膜材料刻蚀后的台阶测量深度问题，用到了台阶仪器-1
IMG_20151013_212725.jpg


关于薄膜材料刻蚀后的台阶测量深度问题，用到了台阶仪器-2
IMG_20151015_201919.jpg


关于薄膜材料刻蚀后的台阶测量深度问题，用到了台阶仪器-3
IMG_20151015_202930.jpg
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1楼 2015-10-15 21:44:32
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 467111170 at 2015-10-21 10:13:42
可能是刻蚀的不干净或者过刻了，你可以试试在镀这层膜前在衬底上涂上一层易去除的材料，然后镀膜后把这层涂抹的材料去除，测量衬底和所镀膜的台阶差。

谢谢回复，你说的我还没看明白，与我的情况有何联系。
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5楼2015-10-22 17:48:47
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467111170

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可能是刻蚀的不干净或者过刻了，你可以试试在镀这层膜前在衬底上涂上一层易去除的材料，然后镀膜后把这层涂抹的材料去除，测量衬底和所镀膜的台阶差。
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2楼2015-10-21 10:13:42
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

把毛刺忽略掉，有没有刻干净，有没有残留，在光学显微镜下或者电镜下都能看清楚
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3楼2015-10-21 16:51:25
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2015-10-21 16:51:25
把毛刺忽略掉，有没有刻干净，有没有残留，在光学显微镜下或者电镜下都能看清楚

我有看，当然不是非常干净，偶有残留的光刻胶没擦干净，或刻蚀的不完全均匀，但也不会像图中一样那么离谱。谢谢你的回复。
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4楼2015-10-22 17:47:18
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