| 查看: 911 | 回复: 4 | |||
勿忘心安里铁虫 (小有名气)
|
[求助]
关于薄膜材料刻蚀后的台阶测量深度问题，用到了台阶仪器 已有2人参与
|
|
一般在光刻显影出图形后进行刻蚀，刻蚀掉没被掩膜遮住的部分，从而得到了相应图形。（对了解的人来说就是句废话，啰嗦了） 我拿到台阶仪下测量，发现很多时候测得多不准，分析原因可能是没刻蚀干净，残留部分凹凸不平，使得原本只有一个台阶的竟然测出的图形看到很多台阶。我想问问大家有没有遇到同样问题，或者说还有其他的原因所致。或许还有更好的办法测量台阶，希望能得到大家的回复，在此先感谢了。  IMG_20151013_205449.jpg  IMG_20151013_212725.jpg  IMG_20151015_201919.jpg  IMG_20151015_202930.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
0817 化学工程 299分求调剂 有科研经历 有二区文章
已经有17人回复
-
一志愿武汉理工材料工程专硕调剂
已经有5人回复
-
0856调剂，是学校就去
已经有7人回复
-
申博26年
已经有3人回复
-
一志愿吉林大学材料学硕321求调剂
已经有10人回复
-
0703化学调剂 ，六级已过，有科研经历
已经有12人回复
-
294求调剂材料与化工专硕
已经有13人回复
-
288求调剂
已经有14人回复
-
307求调剂
已经有8人回复
-
一志愿南京理工大学085701资源与环境302分求调剂
已经有5人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
2楼2015-10-21 10:13:42
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
3楼2015-10-21 16:51:25
勿忘心安里
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1351.2
- 散金: 105
- 红花: 2
- 帖子: 193
- 在线: 59.2小时
- 虫号: 3832540
- 注册: 2015-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2015-10-22 17:47:18
勿忘心安里
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1351.2
- 散金: 105
- 红花: 2
- 帖子: 193
- 在线: 59.2小时
- 虫号: 3832540
- 注册: 2015-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
5楼2015-10-22 17:48:47
