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勿忘心安里铁虫 (小有名气)
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[求助]
关于薄膜材料刻蚀后的台阶测量深度问题，用到了台阶仪器 已有2人参与
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一般在光刻显影出图形后进行刻蚀，刻蚀掉没被掩膜遮住的部分，从而得到了相应图形。（对了解的人来说就是句废话，啰嗦了） 我拿到台阶仪下测量，发现很多时候测得多不准，分析原因可能是没刻蚀干净，残留部分凹凸不平，使得原本只有一个台阶的竟然测出的图形看到很多台阶。我想问问大家有没有遇到同样问题，或者说还有其他的原因所致。或许还有更好的办法测量台阶，希望能得到大家的回复，在此先感谢了。  IMG_20151013_205449.jpg  IMG_20151013_212725.jpg  IMG_20151015_201919.jpg  IMG_20151015_202930.jpg |
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4楼2015-10-22 17:47:18
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