| 查看: 685 | 回复: 5 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
Abskk木虫 (正式写手)
|
[交流]
【求助】如何在硅基片上生长二氧化硅?
|
||
|
想在单晶硅(100)基片上生长二氧化硅,用普通的加热电阻炉可以吗? 若可以，是不是加热在1050度比较合适?时间跟加热速度该如何选择?文献讲,10nm的二氧化硅生长很快，普通的电阻炉很难精确控制其厚度,作为其他薄膜的缓冲或过度层,多厚比较合适?这个合适的厚度应该加热多长时间(升温速度及保温时间\加热温度)? 如这种热生长的方法不行, 该用什么方法比较合适? 向大家请教? [ Last edited by SHY31 on 2008-9-5 at 16:37 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
面上再次挂了，太难了，躺也躺不了，倦也卷不过，小学校之殇！
已经有27人回复
-
8月时间戳变的，举个手。玩一下，释放压力
已经有4人回复
-
UV压敏胶开发
已经有6人回复
-
有没有H口的？有收到消息的吗？
已经有3人回复
-
十年后又回来了，论文投稿求助
已经有3人回复
-
纯娱乐，不喜欢勿喷
已经有10人回复
-
面上提前没消息，有中的吗
已经有18人回复
-
娱乐
已经有4人回复
-
系统今天又提示维护了，估计离放榜不远了
已经有16人回复
-
一个有机合成实验室都需要哪些设备？
已经有10人回复
wanglurong1985
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1421
- 散金: 1
- 帖子: 758
- 在线: 74.5小时
- 虫号: 476439
- 注册: 2007-12-11
- 专业: 半导体
2楼2008-09-05 15:53:48
3楼2008-09-07 19:26:33
stardom427
木虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 4253
- 红花: 2
- 帖子: 2139
- 在线: 366.3小时
- 虫号: 368091
- 注册: 2007-05-11
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2008-09-08 09:01:07
5楼2008-09-08 10:06:16
stardom427
木虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 4253
- 红花: 2
- 帖子: 2139
- 在线: 366.3小时
- 虫号: 368091
- 注册: 2007-05-11
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
6楼2008-09-10 08:53:14