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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » pvd设备磁控溅射镀膜
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langwangboy

木虫 (正式写手)

[求助] pvd设备磁控溅射镀膜 已有2人参与

各位大侠，本人用一个曲面的不锈刚为基体，在上面度一层TiN薄膜，但是曲面异色，怎样放置基体才能避免异色出现呢？谢谢！

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1楼 2015-09-12 18:08:02
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
langwangboy: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-09-14 08:26:01
看来应该不断变化基底和靶材的相对位置，使得曲面上各部分的镀膜条件想通才能解决这个问题。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2015-09-14 05:06:06
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langwangboy

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-09-14 05:06:06
看来应该不断变化基底和靶材的相对位置，使得曲面上各部分的镀膜条件想通才能解决这个问题。

谢谢，上次我调了，上下异色，中间没有，那该怎么调呢

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3楼2015-09-14 08:28:54
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hrhhrh

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

单纯的磁控溅射的话曲面工件很难不异色。
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4楼2015-09-18 09:22:16
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langwangboy

木虫 (正式写手)
可以调的，我和同事解决了…谢谢

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5楼2015-09-18 12:55:36
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一层黑色膜

新虫 (初入文坛)
可以通过控制上下气管孔的大小解决你说的上下异色的问题吗

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6楼2017-09-08 12:58:18
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