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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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yuzhixianren

银虫 (初入文坛)

[求助] TaN陶瓷做衬底是否具有可行性 已有2人参与

刚上研一,实验室新买了炉子可以烧氮化钽,导师让我做一些这方面的研究,提到了做衬底方面。我看的文献都是利用磁控溅射来做衬底,未能看到通过烧结来做衬底,这种通过烧结做成的陶瓷是否能做衬底呢?而且这种材料很贵,即使做氮化镓器件的衬底又没有氮化镓有优势,热导性又不及蓝宝石等衬底,求大神解答一下我的疑惑!
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
估计你导师的意思是以氮化钽陶瓷整体作为衬底,免去镀膜这道工序。
青出于蓝而胜于蓝
2楼2015-09-05 18:14:58
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yuzhixianren

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by guxue at 2015-09-05 18:14:58
估计你导师的意思是以氮化钽陶瓷整体作为衬底,免去镀膜这道工序。

确实有这个意思,只不过我个人感觉烧出来的氮化钽陶瓷是多晶相,还有气孔杂质等,如果在这上面进行外延的话,器件的一些特性会变差,这种东西又贵,感觉没啥优势
3楼2015-09-05 19:07:41
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Jason

木虫 (著名写手)

烧结出来的东西 缺陷那么多 外延生长 可行吗
Jason
4楼2015-09-05 20:27:35
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yuzhixianren

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Jason at 2015-09-05 20:27:35
烧结出来的东西 缺陷那么多 外延生长 可行吗

我个人感觉不可行,但比如再在上面加一层缓冲层,或者在表面进行一些处理减小表面缺陷等,这样是否可行呢?才疏学浅,还望指教!
5楼2015-09-05 20:42:38
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richiechao

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不太可能吧,烧结温区很难控制那么精准,缺陷很多,成品率太低
6楼2015-09-07 14:33:00
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