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yuzhixianren

银虫 (初入文坛)

[求助] TaN陶瓷做衬底是否具有可行性已有2人参与

刚上研一,实验室新买了炉子可以烧氮化钽,导师让我做一些这方面的研究,提到了做衬底方面。我看的文献都是利用磁控溅射来做衬底,未能看到通过烧结来做衬底,这种通过烧结做成的陶瓷是否能做衬底呢?而且这种材料很贵,即使做氮化镓器件的衬底又没有氮化镓有优势,热导性又不及蓝宝石等衬底,求大神解答一下我的疑惑!
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
估计你导师的意思是以氮化钽陶瓷整体作为衬底,免去镀膜这道工序。
青出于蓝而胜于蓝
2楼2015-09-05 18:14:58
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