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yuzhixianren银虫 (初入文坛)
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TaN陶瓷做衬底是否具有可行性 已有2人参与
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| 刚上研一，实验室新买了炉子可以烧氮化钽，导师让我做一些这方面的研究，提到了做衬底方面。我看的文献都是利用磁控溅射来做衬底，未能看到通过烧结来做衬底，这种通过烧结做成的陶瓷是否能做衬底呢？而且这种材料很贵，即使做氮化镓器件的衬底又没有氮化镓有优势，热导性又不及蓝宝石等衬底，求大神解答一下我的疑惑！ |
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