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liumdd

新虫 (初入文坛)

[求助] 用SEM测量高分子薄膜的问题 已有6人参与

新人第一次提问,只有9个金币全拿出来求助!
我的样品是在玻璃片上,用旋涂法凃的P3HT薄膜,溶剂选的氯仿,浓度从0.125mg/ml到1mg/ml不等,目标是想做厚度在5-10nm的薄膜。现在打算用SEM扫截面来确定厚度,仪器型号是日立S-4800,请问仪器的分辨率可以达到要求吗?测量的时候有什么需要注意的?我之前测得时候是用玻璃刀直接切开扫,截面不是很平整这样有影响吗?
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qqwei

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
虽然理论上分辨率可以达到那么高,但取决于你样品性质,还有和基材对比度,实际可能难以实现
楼上说的AFM可以,最好用专门的的能压或刮表面的tip。如果只有普通装置,可以在硬基材上自己用针尖在film上划一道小口子,让AFM扫断面,不过这样误差较大。
其他专门测厚度的ellipsometry,XRR等可能更方便
如果你的基材有特征元素,也可以用XPS计算厚度
6楼2015-09-01 19:10:48
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r123ed

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
理论上可以,现实中比较难,反正不好做。看截面不如把样品台倾斜看斜面
我当年最后找了个石英天平搞定。。。
shape memory
2楼2015-09-01 05:59:14
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lee0341

铁杆木虫 (著名写手)

一点点建议,切的时候切背面,就是没有薄膜的那一面。如果粘附性好直接从背面敲碎这样可能截面会好一些。薄膜确实很薄,如果能旋涂到抛光硅片上截面成像会更好

发自小木虫Android客户端
戒躁
3楼2015-09-01 06:28:42
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不太可能,5-10nm已经接近电镜极限,截面导电性样品清洁度本来就不如一般样品,个人觉得很难测准,透明膜测厚度可以考虑椭偏仪,或者台阶仪,AFM一类的,扫描不擅长这个尺度
4楼2015-09-01 11:54:42
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