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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 用SEM测量高分子薄膜的问题
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liumdd

新虫 (初入文坛)

[求助] 用SEM测量高分子薄膜的问题 已有6人参与

新人第一次提问，只有9个金币全拿出来求助！
我的样品是在玻璃片上，用旋涂法凃的P3HT薄膜，溶剂选的氯仿，浓度从0.125mg/ml到1mg/ml不等，目标是想做厚度在5-10nm的薄膜。现在打算用SEM扫截面来确定厚度，仪器型号是日立S-4800，请问仪器的分辨率可以达到要求吗？测量的时候有什么需要注意的？我之前测得时候是用玻璃刀直接切开扫，截面不是很平整这样有影响吗？
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1楼 2015-09-01 04:53:56
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qqwei

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
虽然理论上分辨率可以达到那么高，但取决于你样品性质，还有和基材对比度，实际可能难以实现
楼上说的AFM可以，最好用专门的的能压或刮表面的tip。如果只有普通装置，可以在硬基材上自己用针尖在film上划一道小口子，让AFM扫断面，不过这样误差较大。
其他专门测厚度的ellipsometry，XRR等可能更方便
如果你的基材有特征元素，也可以用XPS计算厚度
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6楼2015-09-01 19:10:48
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r123ed

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
理论上可以，现实中比较难，反正不好做。看截面不如把样品台倾斜看斜面
我当年最后找了个石英天平搞定。。。
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shape memory
2楼2015-09-01 05:59:14
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lee0341

铁杆木虫 (著名写手)
一点点建议，切的时候切背面，就是没有薄膜的那一面。如果粘附性好直接从背面敲碎这样可能截面会好一些。薄膜确实很薄，如果能旋涂到抛光硅片上截面成像会更好

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戒躁
3楼2015-09-01 06:28:42
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不太可能，5-10nm已经接近电镜极限，截面导电性样品清洁度本来就不如一般样品，个人觉得很难测准，透明膜测厚度可以考虑椭偏仪，或者台阶仪，AFM一类的，扫描不擅长这个尺度
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4楼2015-09-01 11:54:42
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