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用SEM测量高分子薄膜的问题 已有6人参与
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新人第一次提问,只有9个金币全拿出来求助! 我的样品是在玻璃片上,用旋涂法凃的P3HT薄膜,溶剂选的氯仿,浓度从0.125mg/ml到1mg/ml不等,目标是想做厚度在5-10nm的薄膜。现在打算用SEM扫截面来确定厚度,仪器型号是日立S-4800,请问仪器的分辨率可以达到要求吗?测量的时候有什么需要注意的?我之前测得时候是用玻璃刀直接切开扫,截面不是很平整这样有影响吗? |
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gxytju2008
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