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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射基片温度测定与控制
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射基片温度测定与控制 已有4人参与

用磁控溅射在石英或者SiC基片上镀金属厚膜，想尽可能地把膜镀厚，但镀厚了
经常膜裂或者卷曲，怀疑是镀膜时间太久（7h以上），热应力太大的原因。
所以想咨询一下
1.基片温度测定与控制一般都有什么方法？
2.样品台水冷的方法试过了，膜一镀上去就要起皱（基片温度太低的原因？）
3.红外测温度话在这么低的温度范围内不知靠不靠谱？
谢谢！
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薄膜制备与特性 薄膜材料和器件制备

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1楼 2015-08-18 15:27:34
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

纳米材料753

木虫之王 (文学泰斗)

光岳之巅

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
FLYFWY: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-09-07 20:16:31
很难实现的，我原来试过，磁控溅射镀的膜质量相对电子束或者MOCVD等方法差很多，各种缺陷等会很多，在一定厚度时还能把应力释放出来，厚了就没办法克服了
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进取……永无止境！
5楼2015-08-23 16:43:29
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
FLYFWY: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-09-07 20:16:26
不适合吧。。磁控溅射本来也不是很合适做非常厚的。。方法本身的局限，可以考虑其他办法啊
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4楼2015-08-23 16:13:28
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离开几天

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
FLYFWY: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2015-09-07 20:16:15
或许可以尝试用下测温纸，直接贴在基板上，但只能测试到最高点温度。
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6楼2015-08-28 14:00:17
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普通回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)
自己顶一个！
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2楼2015-08-19 08:51:34
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1-maker

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你那个7h能镀多厚啊，可以适当减小功率
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3楼2015-08-23 13:56:49
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 1-maker at 2015-08-23 13:56:49
你那个7h能镀多厚啊，可以适当减小功率

大概10~20um吧，现在尝试减小功率，增加镀膜时间，看镀出来的膜应力会不会小一些
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7楼2015-08-29 20:03:34
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-08-23 16:13:28
不适合吧。。磁控溅射本来也不是很合适做非常厚的。。方法本身的局限，可以考虑其他办法啊

手上只有磁控溅射这一种设备啊。。。
内应力没法控制的话，我想尽量降低热应力：
1.镀半小时，停机充N2降温，尽量在低的温度生长
2.样品台加一个温水循环，让基片一直散热
还不知道有没有效果。
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8楼2015-08-29 20:07:18
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 纳米材料753 at 2015-08-23 16:43:29
很难实现的，我原来试过，磁控溅射镀的膜质量相对电子束或者MOCVD等方法差很多，各种缺陷等会很多，在一定厚度时还能把应力释放出来，厚了就没办法克服了

谢谢您的建议！
缺陷多了内应力就增加，这个只能靠工艺调整了。
我现在的想法就是尽量低温镀膜，降低热应力，从而降低总的应力：
1.镀半小时，停机充N2降温，尽量在低的温度生长
2.样品台加一个温水循环，让基片一直散热
还不知道有没有效果。
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9楼2015-08-29 20:10:51
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 离开几天 at 2015-08-28 14:00:17
或许可以尝试用下测温纸，直接贴在基板上，但只能测试到最高点温度。

非常感谢！
又学到了一招！请问哪个牌子比较好啊？
我在淘宝搜到温度美(TMC)，这个牌子如何啊？
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10楼2015-08-29 20:14:16
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