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hpeng0427

铜虫 (正式写手)

[交流] Si/SiO2 基片 已有6人参与

在文献中经常看到文献中提到将材料滴到“Si/SiO2 基片”上测试AFM,SEM

“Si/SiO2 基片”指的就是普通的硅片吗?
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111111000

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
因为硅是不透光的,二氧化硅是透光的,所以为了方便观察要在硅上涂一层二氧化硅😄😄

[ 发自小木虫客户端 ]
5楼2015-08-17 16:31:13
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查看全部 8 个回答

蓝军压电

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
硅片上有一层SiO2膜

[ 发自小木虫客户端 ]
人生没有遗憾,那些只是未曾实现的梦想而已
2楼2015-08-17 14:21:19
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FLYFWY

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般是指热氧化过的硅片,Si表面有一层几百纳米厚的SiO2,
当然任何Si片表面都会有SiO2,除非你不把它放在空气中
4楼2015-08-17 16:30:39
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hpeng0427

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by FLYFWY at 2015-08-17 16:30:39
一般是指热氧化过的硅片,Si表面有一层几百纳米厚的SiO2,
当然任何Si片表面都会有SiO2,除非你不把它放在空气中

谢谢
相比于Si wafer 这个更贴切

[ 发自小木虫客户端 ]
6楼2015-08-18 08:53:17
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