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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » Si/SiO2 基片
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hpeng0427

铜虫 (正式写手)

[交流] Si/SiO2 基片 已有6人参与

在文献中经常看到文献中提到将材料滴到“Si/SiO2 基片”上测试AFM,SEM

“Si/SiO2 基片”指的就是普通的硅片吗？
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1楼 2015-08-17 14:10:12
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蓝军压电

银虫 (正式写手)
★
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硅片上有一层SiO2膜

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人生没有遗憾，那些只是未曾实现的梦想而已
2楼2015-08-17 14:21:19
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947944607
3楼2015-08-17 16:29:03
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
★
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一般是指热氧化过的硅片,Si表面有一层几百纳米厚的SiO2,
当然任何Si片表面都会有SiO2,除非你不把它放在空气中
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4楼2015-08-17 16:30:39
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111111000

新虫 (初入文坛)
★
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因为硅是不透光的，二氧化硅是透光的，所以为了方便观察要在硅上涂一层二氧化硅😄😄

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5楼2015-08-17 16:31:13
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hpeng0427

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by FLYFWY at 2015-08-17 16:30:39
一般是指热氧化过的硅片,Si表面有一层几百纳米厚的SiO2,
当然任何Si片表面都会有SiO2,除非你不把它放在空气中

谢谢
相比于Si wafer 这个更贴切

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6楼2015-08-18 08:53:17
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
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氧化硅片，一般是做了热氧的硅片。
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7楼2015-08-18 13:12:18
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
★
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8楼2015-08-20 21:40:47
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