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greenwave8631

银虫 (小有名气)

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[求助] 请问磁控溅射镀膜仪在工作过程中会产生X射线吗，孕妇可以长期做吗？已有4人参与

本人小白一枚，最近怀孕了，老板让我接管磁控溅射仪，怕怕的，诚心求助各位大侠！！

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最难的是始终维持一份激情

1楼2015-08-13 16:34:11

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BBMC-2012

木虫 (知名作家)

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4楼: Originally posted by greenwave8631 at 2015-08-14 10:51:59

能找就好了

让你老公去做

[ 发自小木虫客户端 ]

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5楼2015-08-14 11:02:46

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查看全部 11 个回答

zbhwel

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【答案】应助回帖

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greenwave8631: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-08-14 10:46:03

磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，产生E（电场）×B（磁场）所指的方向漂移，简称E×B漂移，其运动轨迹近似于一条摆线。若为环形磁场，则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动，它们的运动路径不仅很长，而且被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内，并且在该区域中电离出大量的Ar 来轰击靶材，从而实现了高的沉积速率。随着碰撞次数的增加，二次电子的能量消耗殆尽，逐渐远离靶表面，并在电场E的作用下最终沉积在基片上。由于该电子的能量很低，传递给基片的能量很小，致使基片温升较低。磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程。在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来。

所以，磁控溅射镀膜应该不会产生X射线，至于对孕妇长期的影响则不好判定。