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greenwave8631银虫 (小有名气)
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[求助]
请问磁控溅射镀膜仪在工作过程中会产生X射线吗，孕妇可以长期做吗？ 已有4人参与
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本人小白一枚，最近怀孕了，老板让我接管磁控溅射仪，怕怕的，诚心求助各位大侠！！ |
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BBMC-2012
木虫 (知名作家)
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5楼2015-08-14 11:02:46
zbhwel
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
greenwave8631: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-08-14 10:46:03
感谢参与，应助指数 +1
greenwave8631: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-08-14 10:46:03
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磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，产生E（电场）×B（磁场）所指的方向漂移，简称E×B漂移，其运动轨迹近似于一条摆线。若为环形磁场，则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动，它们的运动路径不仅很长，而且被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内，并且在该区域中电离出大量的Ar 来轰击靶材，从而实现了高的沉积速率。随着碰撞次数的增加，二次电子的能量消耗殆尽，逐渐远离靶表面，并在电场E的作用下最终沉积在基片上。由于该电子的能量很低，传递给基片的能量很小，致使基片温升较低。磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程。在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来。 所以，磁控溅射镀膜应该不会产生X射线，至于对孕妇长期的影响则不好判定。 |
3楼2015-08-13 18:41:57
greenwave8631
银虫 (小有名气)
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能找就好了 4楼2015-08-14 10:51:59
OpticalSDUT
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【答案】应助回帖
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我们这的高工说，如果是用的射频，会的！对于男性，长期在射频下使用会造成不孕不育，对女性应该也不好吧。其他的中频直流还好，电压频率没那么高，还是注意点好！ 发自小木虫Android客户端 |
6楼2015-09-05 08:54:53
