| 查看: 2431 | 回复: 10 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
greenwave8631银虫 (小有名气)
|
[求助]
请问磁控溅射镀膜仪在工作过程中会产生X射线吗，孕妇可以长期做吗？ 已有4人参与
|
||||
本人小白一枚，最近怀孕了，老板让我接管磁控溅射仪，怕怕的，诚心求助各位大侠！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
华北理工大学矿业工程学院招调剂
已经有0人回复
-
华北理工大学矿业工程学院招调剂
已经有0人回复
-
工程热物理与能源利用论文润色/翻译怎么收费?
已经有91人回复
-
求助：能与1,3-二氯-2-丙醇（一氯甘油；CAS号: 96-24-2）共沸的有机溶剂？
已经有2人回复
-
华北理工大学矿业工程学院招调剂
已经有0人回复
-
河南科技大学动力工程及工程热物理学硕招收调剂生（急需）
已经有1人回复
-
华北理工大学矿业工程学院招调剂
已经有0人回复
-
山东省基金2026
已经有13人回复
-
华北理工大学矿业工程学院招调剂
已经有1人回复
-
华北理工大学矿业工程学院招调剂
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请问磁控溅射镀膜仪在工作过程中会产生X射线吗，孕妇可以长期做吗？
已经有4人回复
- 请问磁控溅射镀膜仪在工作过程中会产生X射线吗，孕妇可以长期做吗？
已经有17人回复
zbhwel
专家顾问 (知名作家)
-
专家经验: +782 - GEPI: 9
- 应助: 1730 (讲师)
- 贵宾: 0.259
- 金币: 23020.1
- 散金: 1738
- 红花: 272
- 沙发: 22
- 帖子: 5201
- 在线: 1050.9小时
- 虫号: 2249580
- 注册: 2013-01-19
- 性别: GG
- 专业: 金属结构材料
- 管辖: 材料工程
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
greenwave8631: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-08-14 10:46:03
感谢参与，应助指数 +1
greenwave8631: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-08-14 10:46:03
|
磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，产生E（电场）×B（磁场）所指的方向漂移，简称E×B漂移，其运动轨迹近似于一条摆线。若为环形磁场，则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动，它们的运动路径不仅很长，而且被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内，并且在该区域中电离出大量的Ar 来轰击靶材，从而实现了高的沉积速率。随着碰撞次数的增加，二次电子的能量消耗殆尽，逐渐远离靶表面，并在电场E的作用下最终沉积在基片上。由于该电子的能量很低，传递给基片的能量很小，致使基片温升较低。磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程。在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来。 所以，磁控溅射镀膜应该不会产生X射线，至于对孕妇长期的影响则不好判定。 |
3楼2015-08-13 18:41:57
greenwave8631
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1440.9
- 散金: 255
- 红花: 2
- 帖子: 129
- 在线: 66小时
- 虫号: 657235
- 注册: 2008-11-18
- 性别: MM
- 专业: 环境化工
能找就好了 4楼2015-08-14 10:51:59
BBMC-2012
木虫 (知名作家)
- 应助: 68 (初中生)
- 金币: 2924.1
- 散金: 3612
- 红花: 431
- 沙发: 54
- 帖子: 9917
- 在线: 679.1小时
- 虫号: 2039656
- 注册: 2012-10-01
- 性别: GG
- 专业: 军事学
5楼2015-08-14 11:02:46
OpticalSDUT
木虫 (正式写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 4128.1
- 散金: 15
- 红花: 5
- 帖子: 365
- 在线: 144.1小时
- 虫号: 3161828
- 注册: 2014-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
【答案】应助回帖
|
我们这的高工说，如果是用的射频，会的！对于男性，长期在射频下使用会造成不孕不育，对女性应该也不好吧。其他的中频直流还好，电压频率没那么高，还是注意点好！ 发自小木虫Android客户端 |
6楼2015-09-05 08:54:53
5