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最难的是始终维持一份激情

1楼2015-08-13 16:34:11

BBMC-2012

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2楼2015-08-13 17:04:41

zbhwel

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【答案】应助回帖

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greenwave8631: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-08-14 10:46:03

磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，产生E（电场）×B（磁场）所指的方向漂移，简称E×B漂移，其运动轨迹近似于一条摆线。若为环形磁场，则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动，它们的运动路径不仅很长，而且被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内，并且在该区域中电离出大量的Ar 来轰击靶材，从而实现了高的沉积速率。随着碰撞次数的增加，二次电子的能量消耗殆尽，逐渐远离靶表面，并在电场E的作用下最终沉积在基片上。由于该电子的能量很低，传递给基片的能量很小，致使基片温升较低。磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程。在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来。

所以，磁控溅射镀膜应该不会产生X射线，至于对孕妇长期的影响则不好判定。

主要从事稀有金属钛合金、钽铌及其合金，铍青铜材料及管棒线材塑性加工技术研究与生产。

3楼2015-08-13 18:41:57

greenwave8631

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2楼: Originally posted by BBMC-2012 at 2015-08-13 17:04:41
找人帮你做呗

能找就好了

最难的是始终维持一份激情

4楼2015-08-14 10:51:59

BBMC-2012

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4楼: Originally posted by greenwave8631 at 2015-08-14 10:51:59

能找就好了

让你老公去做

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5楼2015-08-14 11:02:46

OpticalSDUT

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我们这的高工说，如果是用的射频，会的！对于男性，长期在射频下使用会造成不孕不育，对女性应该也不好吧。其他的中频直流还好，电压频率没那么高，还是注意点好！

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超龄共青团员

6楼2015-09-05 08:54:53

天下无弟

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我做过这个实验，不会产生。

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7楼2015-09-05 10:25:19

mussss

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【答案】应助回帖

X射线的产生是高能电子轰击原子、分子的结果，产生的剂量主要取决于电子的能量。在磁控溅射工艺中，造成气体电离的电子的能量一般只有几百eV，产生X射线的剂量非常低。此外，一般的磁控溅射设备都是金属腔体封闭结构，即使有X射线产生，也不会泄露。当然，观察窗有可能泄露X射线，但可以采用铅玻璃做观察窗，也可以在观察窗内部设置遮挡，不观察时遮挡起来的。总之，操作磁控溅射设备，不应担心X射线的危害(我们曾经测过防护好X光机窗口处的X射线强度与环境本底相当)。X射线无处不在，只是处于安全允许的范围内。

专业：陶瓷-金属封接技术；特种焊接技术；表面处理技术；真空技术等。擅长各种非标焊接结构、部件的设计与制造。

8楼2015-10-01 11:15:20