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汕头大学海洋科学接受调剂
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五百姐姐

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于GaN外延片上ITO层的沉积问题 已有1人参与

原来ITO层是用电子束蒸发做的,最近试着改用溅射沉积ITO层。

结果做出来的ITO层电阻变小,透过率也升高了,但是,芯片的Vf却上升了,甚至还有部分样品上升很大。

整个前工艺段除了沉积方式不同其他都一样,ITO厚度也一样。

希望有经验的大神能指点下,可能是哪方面的问题?不甚感激!
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五百姐姐

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by bytianping at 2015-08-03 15:05:31
温度对欧姆接触影响很大,温度提高往往会减小接触电阻的。ITO本身电阻更小不代表接触电阻就小,就算长个金属电极也会有欧姆接触问题。此外,表面态也很重要,例如同样的条件下,光刻胶剥离后露出的表面欧姆接触会变 ...

感谢!再求教一下,如果在不加热的前提下,有什么其他手段能改善接触电阻吗?
5楼2015-08-03 22:21:24
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bytianping

金虫 (正式写手)

沉积温度一样吗?
Thescientistisnotapersonwhogivestherightanswers,he'sonewhoaskstherightquestions.--ClaudeLévi-Strauss
2楼2015-07-31 20:26:34
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五百姐姐

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by bytianping at 2015-07-31 20:26:34
沉积温度一样吗?

蒸发的时候温度高一点,溅射时不加热。
3楼2015-08-03 08:03:14
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bytianping

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
五百姐姐: 金币+10, ★★★很有帮助, 应该就是层主说的问题。感谢指点 2015-08-03 22:23:18
引用回帖:
3楼: Originally posted by 五百姐姐 at 2015-08-03 09:03:14
蒸发的时候温度高一点,溅射时不加热。...

温度对欧姆接触影响很大,温度提高往往会减小接触电阻的。ITO本身电阻更小不代表接触电阻就小,就算长个金属电极也会有欧姆接触问题。此外,表面态也很重要,例如同样的条件下,光刻胶剥离后露出的表面欧姆接触会变差。
Thescientistisnotapersonwhogivestherightanswers,he'sonewhoaskstherightquestions.--ClaudeLévi-Strauss
4楼2015-08-03 15:05:31
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