应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 关于GaN外延片上ITO层的沉积问题
71/1返回列表
查看: 1104  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

五百姐姐

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于GaN外延片上ITO层的沉积问题 已有1人参与

原来ITO层是用电子束蒸发做的，最近试着改用溅射沉积ITO层。

结果做出来的ITO层电阻变小，透过率也升高了，但是，芯片的Vf却上升了，甚至还有部分样品上升很大。

整个前工艺段除了沉积方式不同其他都一样，ITO厚度也一样。

希望有经验的大神能指点下，可能是哪方面的问题？不甚感激！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-07-31 17:05:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bytianping

金虫 (正式写手)
沉积温度一样吗？
赞一下 回复此楼
Thescientistisnotapersonwhogivestherightanswers,he'sonewhoaskstherightquestions.--ClaudeLévi-Strauss
2楼2015-07-31 20:26:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

五百姐姐

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by bytianping at 2015-07-31 20:26:34
沉积温度一样吗？

蒸发的时候温度高一点，溅射时不加热。
赞一下 回复此楼
3楼2015-08-03 08:03:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bytianping

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
五百姐姐: 金币+10, ★★★很有帮助, 应该就是层主说的问题。感谢指点 2015-08-03 22:23:18
引用回帖:
3楼: Originally posted by 五百姐姐 at 2015-08-03 09:03:14
蒸发的时候温度高一点，溅射时不加热。...

温度对欧姆接触影响很大，温度提高往往会减小接触电阻的。ITO本身电阻更小不代表接触电阻就小，就算长个金属电极也会有欧姆接触问题。此外，表面态也很重要，例如同样的条件下，光刻胶剥离后露出的表面欧姆接触会变差。
赞一下 回复此楼
Thescientistisnotapersonwhogivestherightanswers,he'sonewhoaskstherightquestions.--ClaudeLévi-Strauss
4楼2015-08-03 15:05:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

五百姐姐

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by bytianping at 2015-08-03 15:05:31
温度对欧姆接触影响很大，温度提高往往会减小接触电阻的。ITO本身电阻更小不代表接触电阻就小，就算长个金属电极也会有欧姆接触问题。此外，表面态也很重要，例如同样的条件下，光刻胶剥离后露出的表面欧姆接触会变 ...

感谢！再求教一下，如果在不加热的前提下，有什么其他手段能改善接触电阻吗？
赞一下 回复此楼
5楼2015-08-03 22:21:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bytianping

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
五百姐姐: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-08-05 09:54:21
引用回帖:
5楼: Originally posted by 五百姐姐 at 2015-08-03 23:21:24
感谢！再求教一下，如果在不加热的前提下，有什么其他手段能改善接触电阻吗？...

退火是最简单有效的方法，只是条件需要自己摸索。此外常用的还有一种方法不需要加热，即表面掺杂（尤其针对高阻材料）。电阻高（载流子低）的情况下欧姆接触很困难，往往形成表面势垒。表面掺杂可提高表面载流子浓度，形成隧道电流以改善欧姆接触。例如我以前做的ZnO，在表面长一层很薄的Al掺杂ZnO（AZO），可以轻松与任何金属得到良好的欧姆接触，否则只能退火。对于你做的GaN芯片，表面有很多种方式引入载流子，具体看实验条件吧。
赞一下 回复此楼
Thescientistisnotapersonwhogivestherightanswers,he'sonewhoaskstherightquestions.--ClaudeLévi-Strauss
6楼2015-08-05 03:56:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

五百姐姐

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by bytianping at 2015-08-05 03:56:20
退火是最简单有效的方法，只是条件需要自己摸索。此外常用的还有一种方法不需要加热，即表面掺杂（尤其针对高阻材料）。电阻高（载流子低）的情况下欧姆接触很困难，往往形成表面势垒。表面掺杂可提高表面载流子浓 ...

感谢指点。因为对工艺步骤数有严格要求，所以引入载流子只能作为最后的备用方案了。似乎必须要重新研究下退火的工艺条件了。
赞一下 回复此楼
7楼2015-08-05 09:54:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 五百姐姐 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 投票:  有多少人是今天查系统知道结果的？ +15 爱看书的可乐 2026-08-26 17/850 2026-08-27 06:24 by xxniao123
[基金申请] 国自然面上复盘~欢迎讨论 +5 晴天加油 2026-08-26 6/300 2026-08-27 04:49 by littlezl
[基金申请] 看板上这么多中的，有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +3 a089 2026-08-26 3/150 2026-08-26 23:21 by young90
[基金申请] 我不理解！ +15 Edward_pc 2026-08-26 23/1150 2026-08-26 20:34 by zzuzxg
[基金申请] 系统查不到 +10 董八千 2026-08-26 10/500 2026-08-26 16:30 by Equinoxhua
[基金申请] 怎么查啊 +5 huang1991js 2026-08-26 5/250 2026-08-26 16:09 by Equinoxhua
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +22 羊腰板 2026-08-21 25/1250 2026-08-26 15:00 by zuocuiping
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +23 koalala 2026-08-24 26/1300 2026-08-26 14:29 by 宝贝虫子
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 国际合作可查了，中了面上 +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +4 叶九微 2026-08-26 4/200 2026-08-26 10:52 by xiacongxu
[基金申请] 国合可查了 +3 paperzjh 2026-08-26 3/150 2026-08-26 10:41 by LemmonTr
[基金申请] 今天务委会开完了，明天出结果吗 +19 angus9576 2026-08-25 23/1150 2026-08-26 10:03 by zp519
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑，不妨来听听这首《基金之外》 +8 scalable 2026-08-24 8/400 2026-08-25 12:52 by jnhyjjm
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 看来今天不会放榜了？ +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭