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HSQ负胶旋凃时，出现围绕中心的同心圆环，不知道是什么原因 已有1人参与
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请问大牛，我在做BEL，旋涂HSQ光刻胶时，会出现围绕旋转中心的同心圆环状图案，这主要哪方面出问题造成的？ 还有，光刻胶的甩胶温度是选择刚从冰箱里拿出来直接甩胶还是等光刻胶(HSQ)的温度恢复到室温时再旋涂？ 求大牛们的意见。 PS：上传的图片中小片是我做的。  WP_20150727_003.jpg |
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