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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » HSQ负胶旋凃时，出现围绕中心的同心圆环，不知道是什么原因
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孤子游侠

银虫 (小有名气)

[求助] HSQ负胶旋凃时，出现围绕中心的同心圆环，不知道是什么原因 已有1人参与

请问大牛，我在做BEL，旋涂HSQ光刻胶时，会出现围绕旋转中心的同心圆环状图案，这主要哪方面出问题造成的？
还有，光刻胶的甩胶温度是选择刚从冰箱里拿出来直接甩胶还是等光刻胶(HSQ)的温度恢复到室温时再旋涂？
求大牛们的意见。

PS：上传的图片中小片是我做的。


WP_20150727_003.jpg
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为奋斗而来
1楼 2015-07-29 14:10:21
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木木夕2010

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 孤子游侠 at 2015-12-11 19:38:49
你好，前段时间忙，没来得及回复您。难道你甩HSQ的时候只用一个转速嘛？老外都是两个转速的哦...

嗯呐 一直都是一个转速啊
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6楼2016-06-17 16:19:48
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daijinfei

银虫 (小有名气)
请问你的HSQ是在哪里买的？
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2楼2015-09-06 13:17:52
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木木夕2010

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
孤子游侠(月牙儿的微笑代发): 金币+5, 感谢参与应助。 2015-11-13 17:15:52
回复到室温再用 大概半小时以上， 你的这个可能是甩胶的时候不仅设置了高速也设置了低速， 先低速甩了会儿再高速甩的吧， 我之前也遇到过
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3楼2015-09-08 18:03:49
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孤子游侠

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by daijinfei at 2015-09-06 13:17:52
请问你的HSQ是在哪里买的？

欧盟国家买的
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为奋斗而来
4楼2015-12-11 19:37:47
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查看全部 6 个回答
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