| 查看: 1473 | 回复: 5 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
HSQ负胶旋凃时，出现围绕中心的同心圆环，不知道是什么原因 已有1人参与
|
||
|
请问大牛，我在做BEL，旋涂HSQ光刻胶时，会出现围绕旋转中心的同心圆环状图案，这主要哪方面出问题造成的？ 还有，光刻胶的甩胶温度是选择刚从冰箱里拿出来直接甩胶还是等光刻胶(HSQ)的温度恢复到室温时再旋涂？ 求大牛们的意见。 PS：上传的图片中小片是我做的。  WP_20150727_003.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有241人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
5楼2015-12-11 19:38:49
2楼2015-09-06 13:17:52
3楼2015-09-08 18:03:49
4楼2015-12-11 19:37:47