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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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孤子游侠

银虫 (小有名气)

[求助] HSQ负胶旋凃时,出现围绕中心的同心圆环,不知道是什么原因 已有1人参与

请问大牛,我在做BEL,旋涂HSQ光刻胶时,会出现围绕旋转中心的同心圆环状图案,这主要哪方面出问题造成的?
还有,光刻胶的甩胶温度是选择刚从冰箱里拿出来直接甩胶还是等光刻胶(HSQ)的温度恢复到室温时再旋涂?
求大牛们的意见。

PS:上传的图片中小片是我做的。


WP_20150727_003.jpg
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为奋斗而来
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孤子游侠

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by daijinfei at 2015-09-06 13:17:52
请问你的HSQ是在哪里买的?

欧盟国家买的
为奋斗而来
4楼2015-12-11 19:37:47
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daijinfei

银虫 (小有名气)

请问你的HSQ是在哪里买的?
2楼2015-09-06 13:17:52
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木木夕2010

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
孤子游侠(月牙儿的微笑代发): 金币+5, 感谢参与应助。 2015-11-13 17:15:52
回复到室温再用 大概半小时以上, 你的这个可能是甩胶的时候不仅设置了高速也设置了低速, 先低速甩了会儿再高速甩的吧, 我之前也遇到过
3楼2015-09-08 18:03:49
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孤子游侠

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 木木夕2010 at 2015-09-08 18:03:49
回复到室温再用 大概半小时以上, 你的这个可能是甩胶的时候不仅设置了高速也设置了低速, 先低速甩了会儿再高速甩的吧, 我之前也遇到过

你好,前段时间忙,没来得及回复您。难道你甩HSQ的时候只用一个转速嘛?老外都是两个转速的哦
为奋斗而来
5楼2015-12-11 19:38:49
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