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ICP刻蚀硅，光刻胶熔化 已有2人参与
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图片见附件，光刻胶是PRI-12000,15um厚，ICP采用bosch工艺，刻蚀10s/钝化8s，90个Loop，肉眼可见表面光刻胶熔了。 做ICP比较多的，有没有遇到过这种情况，是机器的原因还是光刻胶的原因？ 谢谢！  IMG_20150729_111428.jpg |
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