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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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涓水狂浪

新虫 (初入文坛)

[求助] ICP刻蚀硅,光刻胶熔化 已有2人参与

图片见附件,光刻胶是PRI-12000,15um厚,ICP采用bosch工艺,刻蚀10s/钝化8s,90个Loop,肉眼可见表面光刻胶熔了。
做ICP比较多的,有没有遇到过这种情况,是机器的原因还是光刻胶的原因?
谢谢!

ICP刻蚀硅,光刻胶熔化
IMG_20150729_111428.jpg
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pptang

荣誉版主 (著名写手)

【答案】应助回帖

你有电极冷却吗?
您的支持,是我的动力!!!
3楼2015-08-24 14:17:38
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perry_ping

新虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

选择比变了吧,要观察一下刻蚀角度还对不对
4楼2016-08-15 14:39:40
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ju5200

木虫 (正式写手)

没有冷却气体当然会胡掉

发自小木虫Android客户端
5楼2016-08-28 00:58:28
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