| 查看: 1137 | 回复: 4 | ||
[求助]
ICP刻蚀硅，光刻胶熔化 已有2人参与
|
|
图片见附件，光刻胶是PRI-12000,15um厚，ICP采用bosch工艺，刻蚀10s/钝化8s，90个Loop，肉眼可见表面光刻胶熔了。 做ICP比较多的，有没有遇到过这种情况，是机器的原因还是光刻胶的原因？ 谢谢！  IMG_20150729_111428.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有13人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有208人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
-
招生--河北大学26年秋季入学博士
已经有1人回复
2楼2015-07-30 11:45:58
pptang
荣誉版主 (著名写手)
- 应助: 11 (小学生)
- 贵宾: 3.85
- 金币: 1852.9
- 散金: 3463
- 红花: 4
- 帖子: 2336
- 在线: 332.2小时
- 虫号: 67
- 注册: 2003-03-01
- 性别: GG
- 专业: 电工材料特性及其应用
- 管辖: 论文翻译
3楼2015-08-24 14:17:38
perry_ping 
新虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 17210.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 3003
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
4楼2016-08-15 14:39:40
ju5200
木虫 (正式写手)
- 应助: 78 (初中生)
- 金币: 1778.6
- 散金: 163
- 红花: 12
- 帖子: 511
- 在线: 65.2小时
- 虫号: 1734187
- 注册: 2012-04-03
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2016-08-28 00:58:28
30