| 查看: 1094 | 回复: 4 | |||
[求助]
ICP刻蚀硅，光刻胶熔化 已有2人参与
|
|
图片见附件，光刻胶是PRI-12000,15um厚，ICP采用bosch工艺，刻蚀10s/钝化8s，90个Loop，肉眼可见表面光刻胶熔了。 做ICP比较多的，有没有遇到过这种情况，是机器的原因还是光刻胶的原因？ 谢谢！  IMG_20150729_111428.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有58人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
2楼2015-07-30 11:45:58
pptang
荣誉版主 (著名写手)
- 应助: 11 (小学生)
- 贵宾: 3.85
- 金币: 1851.9
- 散金: 3463
- 红花: 4
- 帖子: 2336
- 在线: 332.2小时
- 虫号: 67
- 注册: 2003-03-01
- 性别: GG
- 专业: 电工材料特性及其应用
- 管辖: 论文翻译
3楼2015-08-24 14:17:38
perry_ping 
新虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 17210.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 3003
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
4楼2016-08-15 14:39:40
ju5200
木虫 (正式写手)
- 应助: 78 (初中生)
- 金币: 1778.6
- 散金: 163
- 红花: 12
- 帖子: 511
- 在线: 65.2小时
- 虫号: 1734187
- 注册: 2012-04-03
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2016-08-28 00:58:28
10