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langjia木虫 (正式写手)
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peterflyer
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【答案】应助回帖
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langjia: 金币+15, 我主要控制表面形貌,如果单层能做到1um就好了 2015-09-11 07:36:27
langjia: 金币+15, 我主要控制表面形貌,如果单层能做到1um就好了 2015-09-11 07:36:27
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做减反膜当然是磁控溅射做法最好;减反膜是光学薄膜中最简单的,不知道你为什么要做这个题目,而且是用溶液法,以目前工业主流的真空磁控溅射法不同,貌似无任何亮点 我的配方是,单次长锐钛矿TiO2薄膜约25~50nm,比较致密均匀,但烧结温度在450℃ 具体细节:以乙二醇甲醚作溶剂, 配制 0.1mol /L 的钛酸四丁酯溶液, 加入0.1mol /L 的乙酰丙酮作为络合剂, 密封磁力搅拌 3 h, 室温下静置12h。 (1)使用匀胶机,以3000r/min的速度,旋涂于衬底上,旋涂后,放在200℃的热板上干燥5min,取下冷却至室温; (2)重复第(1)步,再旋涂2层,或任意多层(层数越多,薄膜越厚) (3)将旋涂好的薄膜,放入快速退火炉中,以450℃氧气气氛下,烧结30min,冷却后即可 这时获得的TiO2多是锐钛矿的,且有一定程度的结晶。 |
5楼2015-09-10 20:28:48
wanghuaxing 
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6楼2015-09-14 21:24:18
hanmei98232
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