| 查看: 809 | 回复: 2 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
evanbossccp木虫 (正式写手)
|
[求助]
离子束刻蚀机的刻蚀均匀性（3寸片）总是达不到3%，急求原因！！！ 已有2人参与
|
|
|
各位大神，我们自主研制的”离子束刻蚀机“，基片台公转+自转模式，基片台含3个自转盘（装3寸片），3个自转盘绕中心公转，3个自转盘组成6寸大的基片台，按理说，我们采用的基片台公转+自转模式，样品的刻蚀均匀性应该很好，但是，我们现在单个自转盘的片内均匀性都达不到3%，更不用提在6寸范围内（含3个自转盘）达到3%的均匀性了，究竟是什么原因？还请行内高手不吝指教！！！ 问题请教： 1、影响”离子束刻蚀机“均匀性的决定性因素是什么？离子源？基片台旋转模式？还是两者都有？ 2、目前，我们怀疑离子源的束流和基片台的旋转不匹配，也可能是基片台旋转不稳定（比如说轻微的抖动）造成刻蚀均匀性不好，这种猜测合理吗？ 3、解决”离子束刻蚀机“刻蚀均匀性要从哪些方面着手改进？ |
回复此楼» 猜你喜欢
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有20人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有106人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有1人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
zle_jy
木虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 6658.9
- 散金: 176
- 红花: 1
- 帖子: 1016
- 在线: 661小时
- 虫号: 470065
- 注册: 2007-11-29
- 专业: 光子与光电子器件
3楼2021-07-02 16:41:12
2楼2015-11-09 16:38:15
