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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 离子束刻蚀机的刻蚀均匀性（3寸片）总是达不到3%，急求原因！！！
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evanbossccp

木虫 (正式写手)

[求助] 离子束刻蚀机的刻蚀均匀性（3寸片）总是达不到3%，急求原因！！！ 已有2人参与

各位大神，我们自主研制的”离子束刻蚀机“，基片台公转+自转模式，基片台含3个自转盘（装3寸片），3个自转盘绕中心公转，3个自转盘组成6寸大的基片台，按理说，我们采用的基片台公转+自转模式，样品的刻蚀均匀性应该很好，但是，我们现在单个自转盘的片内均匀性都达不到3%，更不用提在6寸范围内（含3个自转盘）达到3%的均匀性了，究竟是什么原因？还请行内高手不吝指教！！！

问题请教：
1、影响”离子束刻蚀机“均匀性的决定性因素是什么？离子源？基片台旋转模式？还是两者都有？
2、目前，我们怀疑离子源的束流和基片台的旋转不匹配，也可能是基片台旋转不稳定（比如说轻微的抖动）造成刻蚀均匀性不好，这种猜测合理吗？
3、解决”离子束刻蚀机“刻蚀均匀性要从哪些方面着手改进？
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1楼 2015-07-25 19:14:19
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physics123

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我们做的工作内容很像。我们也是自己做的刻蚀机。你们这个用的是什么源？束斑面积多大？是不均匀性达不到3%吧？
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2楼2015-11-09 16:38:15
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zle_jy

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

我近期使用RIE刻蚀，刻蚀得到的样品均匀不好，且刻蚀时间很长（比以前），找厂家工程师沟通也没有找到什么问题（硬件工作正常），各位能不能分析什么原因啊？
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3楼2021-07-02 16:41:12
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