| 查看: 833 | 回复: 2 | ||
evanbossccp木虫 (正式写手)
|
[求助]
离子束刻蚀机的刻蚀均匀性（3寸片）总是达不到3%，急求原因！！！ 已有2人参与
|
|
各位大神，我们自主研制的”离子束刻蚀机“，基片台公转+自转模式，基片台含3个自转盘（装3寸片），3个自转盘绕中心公转，3个自转盘组成6寸大的基片台，按理说，我们采用的基片台公转+自转模式，样品的刻蚀均匀性应该很好，但是，我们现在单个自转盘的片内均匀性都达不到3%，更不用提在6寸范围内（含3个自转盘）达到3%的均匀性了，究竟是什么原因？还请行内高手不吝指教！！！ 问题请教： 1、影响”离子束刻蚀机“均匀性的决定性因素是什么？离子源？基片台旋转模式？还是两者都有？ 2、目前，我们怀疑离子源的束流和基片台的旋转不匹配，也可能是基片台旋转不稳定（比如说轻微的抖动）造成刻蚀均匀性不好，这种猜测合理吗？ 3、解决”离子束刻蚀机“刻蚀均匀性要从哪些方面着手改进？ |
回复此楼» 猜你喜欢
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有58人回复
-
西华大学 化学 调剂有名额
已经有0人回复
-
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有8人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
2楼2015-11-09 16:38:15
zle_jy
木虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 6660.5
- 散金: 176
- 红花: 1
- 帖子: 1019
- 在线: 661.6小时
- 虫号: 470065
- 注册: 2007-11-29
- 专业: 光子与光电子器件
3楼2021-07-02 16:41:12
