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汕头大学海洋科学接受调剂

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小y_无心

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 2373414
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专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 多孔硅厚度怎么测量已有1人参与

电化学腐蚀硅片形成多孔硅后，除了掰样SEM测量厚度之外还有其他的方法吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

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1楼 2015-07-07 21:35:27

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

dgrxddx

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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红花: 2
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虫号: 738307
注册: 2009-04-02
专业: 半导体电子器件

【答案】应助回帖

方法有不少。
最简单的是破坏性测量，用2-5%KOH溶液腐蚀掉多孔硅，测量区域深度。
非破坏性测量需要特殊仪器并建立合适的测量模型，例如FTiR，Elipsometry，SLIM等。J.Sailor的书《Porous Silicon in Practice》讲了一部分，其余可参阅相关文献。

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