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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电化学传感器 » 多孔硅厚度怎么测量
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小y_无心

银虫 (小有名气)

[求助] 多孔硅厚度怎么测量 已有1人参与

电化学腐蚀硅片形成多孔硅后，除了掰样SEM测量厚度之外还有其他的方法吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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1楼 2015-07-07 21:35:27
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dgrxddx

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

方法有不少。
最简单的是破坏性测量，用2-5%KOH溶液腐蚀掉多孔硅，测量区域深度。
非破坏性测量需要特殊仪器并建立合适的测量模型，例如FTiR，Elipsometry，SLIM等。J.Sailor的书《Porous Silicon in Practice》讲了一部分，其余可参阅相关文献。
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2楼2016-01-05 17:49:09
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