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关于扫描电镜的问题。(场发射扫描电镜 versus 环境扫描电子显微镜)
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性别: GG
专业: 半导体电子器件
[交流]
关于扫描电镜的问题。(场发射扫描电镜 versus 环境扫描电子显微镜)
首先,我做的是电子陶瓷材料。之前观察微观结构用的是场发射扫描电镜,需要喷金处理,分辨率最高达到2nm。目前由于学校场发射扫描电镜用的人太多,预约不上。前段时间学校买了一台环境扫描电镜,据说也可以观察陶瓷样品,还不用喷金,分辨率3nm。
场发射做过几次,没用过环境扫描电子显微镜,有经验的前辈麻烦介绍一下,环境扫描电子显微镜和场发射扫描电镜有什么不同,能用来观察陶瓷样品的表面形貌吗?结果相比于场发射扫描电镜怎样?谢谢!
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