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暴风鸭

新虫 (初入文坛)

[求助] 蒸镀的薄膜，怎样才能形成颗粒的岛状。 已有4人参与

蒸镀的薄膜，比如金属，金属氧化物，怎样才能使它们更加趋于一颗一颗的状态。比如蒸发速率，热处理温度的影响。
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1楼 2015-07-03 15:13:43
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
暴风鸭: 金币+5, ★有帮助 2015-07-16 20:12:58
可以试一试是蒸发速度快点，看看能否实现。
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我~心~依~旧
5楼2015-07-05 17:28:47
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索益半导体

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
薄一点就不连续成岛状了
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2楼2015-07-03 16:27:49
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暴风鸭

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 索益半导体 at 2015-07-03 16:27:49
薄一点就不连续成岛状了

多薄？比如我想厚一点50nm怎么办
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3楼2015-07-04 10:02:39
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索益半导体

捐助贵宾 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 暴风鸭 at 2015-07-04 10:02:39
多薄？比如我想厚一点50nm怎么办...

50nm的话我想到的方法是表面处理咯，具体针对不同衬底不同金属肯定是不同的。
实在不行的话就做个模板呗，拿光刻胶或者其他什么的做一堆凹坑当模板，就是不知道模板对你后面的器件什么的会不会有影响
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4楼2015-07-04 17:46:40
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