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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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暴风鸭

新虫 (初入文坛)

[求助] 蒸镀的薄膜,怎样才能形成颗粒的岛状。 已有4人参与

蒸镀的薄膜,比如金属,金属氧化物,怎样才能使它们更加趋于一颗一颗的状态。比如蒸发速率,热处理温度的影响。
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索益半导体

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
薄一点就不连续成岛状了
2楼2015-07-03 16:27:49
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暴风鸭

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 索益半导体 at 2015-07-03 16:27:49
薄一点就不连续成岛状了

多薄?比如我想厚一点50nm怎么办
3楼2015-07-04 10:02:39
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索益半导体

捐助贵宾 (小有名气)


引用回帖:
3楼: Originally posted by 暴风鸭 at 2015-07-04 10:02:39
多薄?比如我想厚一点50nm怎么办...

50nm的话我想到的方法是表面处理咯,具体针对不同衬底不同金属肯定是不同的。
实在不行的话就做个模板呗,拿光刻胶或者其他什么的做一堆凹坑当模板,就是不知道模板对你后面的器件什么的会不会有影响
4楼2015-07-04 17:46:40
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
暴风鸭: 金币+5, 有帮助 2015-07-16 20:12:58
可以试一试是蒸发速度快点,看看能否实现。
我~心~依~旧
5楼2015-07-05 17:28:47
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gongjf

木虫 (小有名气)

如果是金属,稍微退火肯定可以。
6楼2015-07-06 16:14:43
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aaron5235

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

提高沉积速率。是可以的
人生在世,俯仰之间,唯有追求卓越,但求尽其所能
7楼2015-07-06 16:21:40
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xujia728

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
暴风鸭: 金币+5 2015-07-16 20:13:08
金属薄膜的话,高温退火就可以,不过要考虑到基片的高温的容忍。
8楼2015-07-07 15:57:04
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rikasu

新虫 (初入文坛)

基片用凹下去的那种,加大功率,提高沉积速率应该可以。
我就是我,颜色不一样的烟火
9楼2015-07-31 10:02:32
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