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蒸镀的薄膜,怎样才能形成颗粒的岛状。
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暴风鸭
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蒸镀的薄膜,怎样才能形成颗粒的岛状。
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蒸镀的薄膜,比如金属,金属氧化物,怎样才能使它们更加趋于一颗一颗的状态。比如蒸发速率,热处理温度的影响。
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1楼
2015-07-03 15:13:43
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暴风鸭
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2楼
:
Originally posted by
索益半导体
at 2015-07-03 16:27:49
薄一点就不连续成岛状了
多薄?比如我想厚一点50nm怎么办
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3楼
2015-07-04 10:02:39
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薄一点就不连续成岛状了
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2楼
2015-07-03 16:27:49
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3楼
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Originally posted by
暴风鸭
at 2015-07-04 10:02:39
多薄?比如我想厚一点50nm怎么办...
50nm的话我想到的方法是表面处理咯,具体针对不同衬底不同金属肯定是不同的。
实在不行的话就做个模板呗,拿光刻胶或者其他什么的做一堆凹坑当模板,就是不知道模板对你后面的器件什么的会不会有影响
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4楼
2015-07-04 17:46:40
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2015-07-16 20:12:58
可以试一试是蒸发速度快点,看看能否实现。
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我~心~依~旧
5楼
2015-07-05 17:28:47
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