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[求助]
GaN上电极的低温制作
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新人求问,一般GaN上通过磁控溅射镀金属,再800度以上退火形成欧姆接触,但由于我的样品结构里含有InN,因此承受不了那样的高温,求别的制作电极的方法。样品用MBE生长,结构如下: 20nm GaN/ 1ML InN/ 100nm GaN/ GaN template 表面就是20nm的GaN,求问如何在其上制作欧姆接触的电极。 |
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