| 查看: 512 | 回复: 1 | ||
[求助]
GaN上电极的低温制作
|
|
新人求问，一般GaN上通过磁控溅射镀金属，再800度以上退火形成欧姆接触，但由于我的样品结构里含有InN，因此承受不了那样的高温，求别的制作电极的方法。样品用MBE生长，结构如下： 20nm GaN/ 1ML InN/ 100nm GaN/ GaN template 表面就是20nm的GaN，求问如何在其上制作欧姆接触的电极。 |
回复此楼
2楼2015-07-20 15:08:38