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3awilly

新虫 (初入文坛)

[求助] GaN上电极的低温制作

新人求问,一般GaN上通过磁控溅射镀金属,再800度以上退火形成欧姆接触,但由于我的样品结构里含有InN,因此承受不了那样的高温,求别的制作电极的方法。样品用MBE生长,结构如下:
   20nm GaN/ 1ML InN/ 100nm GaN/ GaN template
表面就是20nm的GaN,求问如何在其上制作欧姆接触的电极。
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lisx2525

新虫 (初入文坛)

可以使用低温磁控溅射 金属电极小于100度。 如果不退火,是否可以形成你需要的欧姆接触,我就不了解了。
2楼2015-07-20 15:08:38
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