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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » AAO模板的去除方法？
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sysuhx

新虫 (初入文坛)

[求助] AAO模板的去除方法？

我用AAO模板结合PVD在Si基上想做Cu纳米点，在1mol/L的NaOH水浴加热60℃去除模板，
时间约为1-2小时，结果SEM图什么也没有了。只有一些很少的离散点，也不清楚是不是Cu

是温度太高，时间太长把Cu点也冲刷掉了吗？或者是不是我镀的比较厚（大约是60-100nm）？还是AAO模板的原因

我现在想用物理方法去除，比如胶布之类的，在文献里找不到详细的资料，求指导。
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1楼 2015-06-25 16:27:15
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mjsophia1990

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by bluepanda4 at 2015-11-25 20:34:29
请问楼主找到去除方法了吗，硅基上的aao怎么去除才干净？

请问你这个问题解决了吗？ 硅片上的AAO是怎么去除的？我现在也遇到了这个问题，用氢氧化钠会把硅片腐蚀，用磷酸去不掉啊！若是已经解决了，求指导

发自小木虫Android客户端
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3楼2018-07-11 17:42:32
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。
请问楼主找到去除方法了吗，硅基上的aao怎么去除才干净？
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谦虚谨慎的学习，与大家共勉！
2楼2015-11-25 20:34:29
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