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sysuhx

新虫 (初入文坛)

[求助] AAO模板的去除方法?

我用AAO模板结合PVD在Si基上想做Cu纳米点,在1mol/L的NaOH水浴加热60℃去除模板,
时间约为1-2小时,结果SEM图什么也没有了。只有一些很少的离散点,也不清楚是不是Cu

是温度太高,时间太长把Cu点也冲刷掉了吗?或者是不是我镀的比较厚(大约是60-100nm)?还是AAO模板的原因

我现在想用物理方法去除,比如胶布之类的,在文献里找不到详细的资料,求指导。
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

请问楼主找到去除方法了吗,硅基上的aao怎么去除才干净?
谦虚谨慎的学习,与大家共勉!
2楼2015-11-25 20:34:29
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mjsophia1990

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by bluepanda4 at 2015-11-25 20:34:29
请问楼主找到去除方法了吗,硅基上的aao怎么去除才干净?

请问你这个问题解决了吗? 硅片上的AAO是怎么去除的?我现在也遇到了这个问题,用氢氧化钠会把硅片腐蚀,用磷酸去不掉啊!若是已经解决了,求指导

发自小木虫Android客户端
3楼2018-07-11 17:42:32
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