| 查看: 3092 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
声表面波滤波器(SAW filter)之叉指换能器(IDT)设计,大家有什么好的建议没。
|
|||
|
本人想设计一种比较简单的声表面波器件,通过器件性能测试来表征AlN压电薄膜的压电系数d33、机电耦合系数等基本参数,但偶对器件设计设计基本是一窍不通,毕竟不是这个专业的(俺是搞材料的),不知道如何设计mask、光刻工艺等等后续加工步骤。 初步构想是,IDT指宽1μm,指间距等于指宽,指采用Al膜,厚度200nm,和微电子所老师沟通采用负胶(但他们毕竟不是做SAW的,没有给出过多的建议), 那么问题来了,试样大小一般10*10mm(比较小),多片(大概5、6片吧,厚度基本一致) 1、一般指对数一般用多少(30对合适吗)? 2、指间重叠区域的长度有什么原则? 3、两边的吸声材料一般选择什么材料,如何设计形状位置、沉积工艺等? 4、引出的电极一般如何设计?选用材料、引出位置、长度等? 5、输入端与输出端IDT之间的间隔一般多远? 6、若想同时对多个衬底表面进行掩膜、光刻,而微电子所一般采用2.5inch的板,如何排布我的试样,可以保证表面基本处于同一水平位置? 7、其他未尽事宜,也请大家多多补充,给出建议。 Note:此贴也算是对IDT设计的综合帖靶,希望大家踊跃发言,可能的话,对以后关注这方面的人也能提供点帮助,不要心疼我的金币,跟帖越多金币越多哦。 |
» 猜你喜欢
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
温州大学2026年招生(化学、材料)
已经有10人回复
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有60人回复
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
温州大学招收2026年入学博士研究生(化学、材料、环境)
已经有10人回复
非晶合金
已经有2人回复
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
求调剂
已经有1人回复
化工学院(学院正式调剂群+联系方式)
已经有0人回复
化工学院(学院官方群)-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:
关于如何利用声表面波滤波器产生声表面波
已经有6人回复
» 抢金币啦!回帖就可以得到:
持续创业者,A8离异男征婚,事业遇到瓶颈,寻找创业生活伴侣
+1/474
南京医科大学生殖医学与子代健康国重实验室-董飞宏课题组-学术硕士招生
+1/95
愿遇见你,遇见不止擦肩而过的缘分
+1/74
上海交通大学机械与动力工程学院博士后招聘
+3/68
加拿大阿尔伯塔大学招收电磁、无线通信、机器学习方向全奖硕士/博士/博士后/访问学者
+1/53
2026年重庆工商大学管理科学与工程专业学术硕士招生调剂,风景总在柳暗花明处
+1/35
上海交大化院功能大分子团队招2026年硕士、联培、博士后
+1/32
南京理工大学优青团队招聘副教授、博士后、博士、硕士生(化学、催化方向)
+1/31
2026年工科硕士调剂-上海大学全国重点实验室团队-材料数据挖掘方向-研究生3-5人
+1/30
【武汉高校】【新能源材料与器件课题组】 招收优秀硕士调剂生!!!
+5/10
招收调剂生 国家重点实验室(广西某师范大学、B区)
+1/9
211/双一流---石河子大学---有机化学方向招调剂生
+1/8
欢迎加入赣南师范大学先进光电子研究中心
+1/7
211/双一流石河子大学化学化工学院--电催化,CO2转化
+1/6
上海师范大学化学与材料科学学院任新意副研究员招收调剂学生3-4名(有机化学专业)
+1/5
中国科学院过程工程研究所助理研究员(正式职工)和博士后招聘启事
+1/5
招收化工与材料学科点研究生
+1/4
深圳大学蔡兴科课题组博士后及研究助理招聘
+1/2
论文投出,祈福,求好运
+1/2
北京高校副校长团队招收机械类,环境类学硕和专硕
+1/2
|
不好意思哈,我不是做SAW模拟的,只是单纯设计做个器件测试性能的,不过我可以给你推荐清华大学潘峰团队,他们是做材料,好像也有模拟,你可以去那边试试 发自小木虫Android客户端 |
25楼2015-09-24 15:29:17
简单回复
Walnut19楼
2015-06-04 23:06
回复
zbnet(金币+1): 谢谢参与
? [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]













回复此楼
xxf1204