| 查看: 3098 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
声表面波滤波器（SAW filter）之叉指换能器（IDT）设计，大家有什么好的建议没。
|
|||
|
本人想设计一种比较简单的声表面波器件，通过器件性能测试来表征AlN压电薄膜的压电系数d33、机电耦合系数等基本参数，但偶对器件设计设计基本是一窍不通，毕竟不是这个专业的（俺是搞材料的），不知道如何设计mask、光刻工艺等等后续加工步骤。 初步构想是，IDT指宽1μm，指间距等于指宽，指采用Al膜，厚度200nm，和微电子所老师沟通采用负胶（但他们毕竟不是做SAW的，没有给出过多的建议）， 那么问题来了，试样大小一般10*10mm（比较小），多片（大概5、6片吧，厚度基本一致） 1、一般指对数一般用多少（30对合适吗）？ 2、指间重叠区域的长度有什么原则？ 3、两边的吸声材料一般选择什么材料，如何设计形状位置、沉积工艺等？ 4、引出的电极一般如何设计？选用材料、引出位置、长度等？ 5、输入端与输出端IDT之间的间隔一般多远？ 6、若想同时对多个衬底表面进行掩膜、光刻，而微电子所一般采用2.5inch的板，如何排布我的试样，可以保证表面基本处于同一水平位置？ 7、其他未尽事宜，也请大家多多补充，给出建议。 Note：此贴也算是对IDT设计的综合帖靶，希望大家踊跃发言，可能的话，对以后关注这方面的人也能提供点帮助，不要心疼我的金币，跟帖越多金币越多哦。 |
回复此楼» 猜你喜欢
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有243人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有1人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于如何利用声表面波滤波器产生声表面波
已经有6人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
专业技术开发及第三方检测
+1/87
-
物理学 调剂
+1/85
-
青岛高校 研究生招生
+1/50
-
西安某大学能源化工新材料研发项目组接收2026级调剂研究生-计算机类
+1/42
-
PBAT溶解做成乳液
+1/40
-
华南师范大学（211）博士招生- 电子、自动化、机械、生物学、物理相关专业
+2/38
-
0854电子信息调剂，闽南师大光电芯片研发实验室，柯少颖教授课题组，集成电路
+1/36
-
哈工大郑州高等研究院刘绍琴与查正宝教授课题组诚招合成生物学背景相关的优秀人才加盟
+1/34
-
澳大利亚西澳大学（UWA）张金强课题组招收全奖博士生（化工新能源方向）
+1/26
-
中山大学院士团队微纳器件、脑机接口方向博士招生、博后招聘
+1/20
-
重庆文理学院化学与环境工程学院 2026 届硕士研究生调剂通知
+1/16
-
北京某研究院生物化学与分子生物学相关专业申请考核制博士招生（春季）
+1/14
-
新加坡国立大学药学系化学生物学课题组招PhD
+1/13
-
南京理工大学招收2026级硕士生-张光普博导
+2/8
-
招收调剂生 国家重点实验室（广西某师范大学、B区）
+1/8
-
211/双一流石河子大学化学化工学院--电催化，CO2转化
+1/6
-
【第三轮招生，31号截止】澳科大诚招2026秋全奖博士研究生（纳米医学/生物材料方向）
+1/4
-
“机械、材料”招生
+1/3
-
西安交通大学生命学院智能化诊疗装备研究中心2026年博士生招生
+1/1
-
【2026年春季补录】厦门大学田中群院士/易骏教授纳米光子学团队招收2026年入学博士生
+1/1
|
不好意思哈，我不是做SAW模拟的，只是单纯设计做个器件测试性能的，不过我可以给你推荐清华大学潘峰团队，他们是做材料，好像也有模拟，你可以去那边试试 发自小木虫Android客户端 |
xxf120425楼2015-09-24 15:29:17
简单回复
Walnut19楼
2015-06-04 23:06
回复
zbnet(金币+1): 谢谢参与
？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
