| 查看: 3189 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
声表面波滤波器（SAW filter）之叉指换能器（IDT）设计，大家有什么好的建议没。
|
|||
|
本人想设计一种比较简单的声表面波器件，通过器件性能测试来表征AlN压电薄膜的压电系数d33、机电耦合系数等基本参数，但偶对器件设计设计基本是一窍不通，毕竟不是这个专业的（俺是搞材料的），不知道如何设计mask、光刻工艺等等后续加工步骤。 初步构想是，IDT指宽1μm，指间距等于指宽，指采用Al膜，厚度200nm，和微电子所老师沟通采用负胶（但他们毕竟不是做SAW的，没有给出过多的建议）， 那么问题来了，试样大小一般10*10mm（比较小），多片（大概5、6片吧，厚度基本一致） 1、一般指对数一般用多少（30对合适吗）？ 2、指间重叠区域的长度有什么原则？ 3、两边的吸声材料一般选择什么材料，如何设计形状位置、沉积工艺等？ 4、引出的电极一般如何设计？选用材料、引出位置、长度等？ 5、输入端与输出端IDT之间的间隔一般多远？ 6、若想同时对多个衬底表面进行掩膜、光刻，而微电子所一般采用2.5inch的板，如何排布我的试样，可以保证表面基本处于同一水平位置？ 7、其他未尽事宜，也请大家多多补充，给出建议。 Note：此贴也算是对IDT设计的综合帖靶，希望大家踊跃发言，可能的话，对以后关注这方面的人也能提供点帮助，不要心疼我的金币，跟帖越多金币越多哦。 |
回复此楼» 猜你喜欢
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有8人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有147人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
-
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有8人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有10人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于如何利用声表面波滤波器产生声表面波
已经有6人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
苏州国家实验室---南京大学联合培养博士招生（2026秋季入学）
+5/350
-
安徽农业大学李亚辉教授招收 化学、农药学、植保类2026级博士研究生
+3/162
-
双一流南京医科大学招计算机、生物信息等方向研究生调剂
+1/135
-
欧洲“CO2捕集与加氢催化转化”博士招聘（捷克-德国-斯洛文尼亚三国项目）
+1/90
-
伦敦布鲁内尔大学诚招国家公派读博，联合培养博士生，物流供应链方向
+1/84
-
二维材料方向博士后招聘
+1/39
-
西湖大学工学院王雅婕实验室科研助理（蛋白质工程）招聘启事（急招）
+1/13
-
昆明理工大学化学工程学院张恒、高欣老师课题组调剂招生，还有名额
+1/11
-
广东石油化工学院生物与医药专硕仍有部分调剂名额，欢迎农，工，理和医学的同学调剂。
+1/9
-
南京林业大学-国家级青年人才团队 诚聘青年教授、博士后等青年才俊
+1/8
-
二次调剂名额13名，华北理工大学矿物加工工程方向接收调剂研究生
+1/7
-
基金祈福
+1/5
-
中山大学附属第三医院生物材料与转化医学实验室2026级博士招生
+1/5
-
申请临床医学博士、医学博士
+1/5
-
贵州师大山地实验室学硕调剂名额，急需调剂
+1/3
-
鲁东大学水产学院杨建敏教授课题组，2026年水产学硕接收调剂3-4人
+1/2
-
博士招生-首都医科大学-公共卫生学院
+2/2
-
东北师范大学化学学院无机化学专业招收博士一名
+1/2
-
材料与化工 专硕 接收调剂（工科就行，可以接收没考数学科目）
+1/2
-
西安工程大学环境与化学工程学院研究生调剂（理学，农学可调，专硕可调学硕）
+1/1
|
不好意思哈，我不是做SAW模拟的，只是单纯设计做个器件测试性能的，不过我可以给你推荐清华大学潘峰团队，他们是做材料，好像也有模拟，你可以去那边试试 发自小木虫Android客户端 |
xxf120425楼2015-09-24 15:29:17
简单回复
Walnut19楼
2015-06-04 23:06
回复
zbnet(金币+1): 谢谢参与
？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
