| 查看: 3193 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
声表面波滤波器（SAW filter）之叉指换能器（IDT）设计，大家有什么好的建议没。
|
|||
|
本人想设计一种比较简单的声表面波器件，通过器件性能测试来表征AlN压电薄膜的压电系数d33、机电耦合系数等基本参数，但偶对器件设计设计基本是一窍不通，毕竟不是这个专业的（俺是搞材料的），不知道如何设计mask、光刻工艺等等后续加工步骤。 初步构想是，IDT指宽1μm，指间距等于指宽，指采用Al膜，厚度200nm，和微电子所老师沟通采用负胶（但他们毕竟不是做SAW的，没有给出过多的建议）， 那么问题来了，试样大小一般10*10mm（比较小），多片（大概5、6片吧，厚度基本一致） 1、一般指对数一般用多少（30对合适吗）？ 2、指间重叠区域的长度有什么原则？ 3、两边的吸声材料一般选择什么材料，如何设计形状位置、沉积工艺等？ 4、引出的电极一般如何设计？选用材料、引出位置、长度等？ 5、输入端与输出端IDT之间的间隔一般多远？ 6、若想同时对多个衬底表面进行掩膜、光刻，而微电子所一般采用2.5inch的板，如何排布我的试样，可以保证表面基本处于同一水平位置？ 7、其他未尽事宜，也请大家多多补充，给出建议。 Note：此贴也算是对IDT设计的综合帖靶，希望大家踊跃发言，可能的话，对以后关注这方面的人也能提供点帮助，不要心疼我的金币，跟帖越多金币越多哦。 |
回复此楼» 猜你喜欢
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有216人回复
-
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有8人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有10人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有3人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于如何利用声表面波滤波器产生声表面波
已经有6人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
香港城市大学（东莞）雷进程博士课题组招聘研究助理
+1/85
-
网爆某大型玻璃厂家
+1/73
-
fluent 化学反应部分预混、三维全尺寸计算慢与压力小问题请教
+1/38
-
盐城师范学院生物与医药（生物技术与工程领域）还有调剂名额
+1/36
-
中新绿色科技研究院（山东济南）招收机械设计方向实习生
+1/35
-
西工大国家级青年人才招聘微尺度传热方向博士后/研究助理
+1/33
-
致中山白雪：于法理与人间，赴一场双向奔赴
+1/30
-
省重点实验室招收调剂生（一志愿07开头专业），海洋生物专业名额充足
+1/14
-
上海交通大学材料成形（塑性加工）常年招聘硕士研究生、博士研究生和博士后
+1/10
-
省重点实验室招收调剂生，海洋生物专业名额充足
+1/9
-
北化大学材料科学与工程学院研究生调剂
+1/8
-
佛山大学动物科技学院2026年硕士研究生招生调剂公告（第三批）
+1/8
-
山东大学集成电路学院招博士了
+1/5
-
山东科技大学×中国地质调查局成都地质调查中心招收2026级硕士联培生
+1/4
-
26年医学外科专硕申博自荐
+1/2
-
大连海洋大学联合培养硕士调剂招生
+1/2
-
人工智能与计算化学交叉研究方向 接受调剂
+1/1
-
昆明理工大学陈江照教授团队招收博士研究生3名
+1/1
-
中国海洋大学工程学院科研博士后招聘启事（数学/能源化工方向）
+1/1
-
贵州师大 山地实验室 招教师，有编制，副教授待遇
+1/1
24楼2015-09-24 09:32:43
简单回复
Walnut19楼
2015-06-04 23:06
回复
zbnet(金币+1): 谢谢参与
？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
