| 查看: 3105 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
声表面波滤波器（SAW filter）之叉指换能器（IDT）设计，大家有什么好的建议没。
|
|||
|
本人想设计一种比较简单的声表面波器件，通过器件性能测试来表征AlN压电薄膜的压电系数d33、机电耦合系数等基本参数，但偶对器件设计设计基本是一窍不通，毕竟不是这个专业的（俺是搞材料的），不知道如何设计mask、光刻工艺等等后续加工步骤。 初步构想是，IDT指宽1μm，指间距等于指宽，指采用Al膜，厚度200nm，和微电子所老师沟通采用负胶（但他们毕竟不是做SAW的，没有给出过多的建议）， 那么问题来了，试样大小一般10*10mm（比较小），多片（大概5、6片吧，厚度基本一致） 1、一般指对数一般用多少（30对合适吗）？ 2、指间重叠区域的长度有什么原则？ 3、两边的吸声材料一般选择什么材料，如何设计形状位置、沉积工艺等？ 4、引出的电极一般如何设计？选用材料、引出位置、长度等？ 5、输入端与输出端IDT之间的间隔一般多远？ 6、若想同时对多个衬底表面进行掩膜、光刻，而微电子所一般采用2.5inch的板，如何排布我的试样，可以保证表面基本处于同一水平位置？ 7、其他未尽事宜，也请大家多多补充，给出建议。 Note：此贴也算是对IDT设计的综合帖靶，希望大家踊跃发言，可能的话，对以后关注这方面的人也能提供点帮助，不要心疼我的金币，跟帖越多金币越多哦。 |
回复此楼» 猜你喜欢
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有132人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有2人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于如何利用声表面波滤波器产生声表面波
已经有6人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
青岛高校2026招生硕士研究生
+5/835
-
从专科一路到211硕士，到TOP5博士，也想进高校体制
+1/38
-
0854电子信息调剂，闽南师大光电芯片研发实验室
+1/37
-
湘潭大学“过程强化与绿色化工”创新团队补招2026年秋入学博士生
+1/35
-
浙江中医药大学副校长团队招聘药学/生物信息学等方向高校教师7名，报名通道已开启
+1/19
-
南京林业大学-国家级青年人才团队 招2026级申请考核制博士（合成化学、植物化学方向）
+1/14
-
福建师范大学化学与材料学院杜克钊团队博士招生
+2/14
-
【武汉高校】【新能源材料与器件课题组】 招收优秀硕士调剂生！！！
+5/10
-
南昌航空大学代威力教授招收光催化和光热催化研究方向博士生
+1/9
-
新加坡国立大学药学系化学生物学课题组招PhD
+1/8
-
211/双一流---石河子大学---有机化学方向招调剂生
+1/8
-
课题组招收环境及相关专业调剂硕士研究生（欢迎优秀学生加入）
+1/6
-
香港大学David Srolovitz教授课题组招聘「香江学者」博士后
+1/6
-
26年申博自荐-计算机视觉
+1/5
-
易度层流质量流量控制器在气液两相循环流动实验气体定量注液中的应用与优势
+1/5
-
东北林业大学（211，双一流）宋老师课题组招收高分子、化学、复合材料等方向研究生
+1/4
-
深圳大学蔡兴科课题组博士后及研究助理招聘
+1/2
-
国家杰青低维材料与器件力学团队2026年招收博士研究生
+1/2
-
西安交通大学生命学院智能化诊疗装备研究中心2026年博士生招生
+1/1
-
武汉轻工大学土木水利青椒硕导招调剂
+1/1
22楼2015-06-09 20:05:11
简单回复
Walnut19楼
2015-06-04 23:06
回复
zbnet(金币+1): 谢谢参与
？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
