| 查看: 3096 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
声表面波滤波器（SAW filter）之叉指换能器（IDT）设计，大家有什么好的建议没。
|
|||
|
本人想设计一种比较简单的声表面波器件，通过器件性能测试来表征AlN压电薄膜的压电系数d33、机电耦合系数等基本参数，但偶对器件设计设计基本是一窍不通，毕竟不是这个专业的（俺是搞材料的），不知道如何设计mask、光刻工艺等等后续加工步骤。 初步构想是，IDT指宽1μm，指间距等于指宽，指采用Al膜，厚度200nm，和微电子所老师沟通采用负胶（但他们毕竟不是做SAW的，没有给出过多的建议）， 那么问题来了，试样大小一般10*10mm（比较小），多片（大概5、6片吧，厚度基本一致） 1、一般指对数一般用多少（30对合适吗）？ 2、指间重叠区域的长度有什么原则？ 3、两边的吸声材料一般选择什么材料，如何设计形状位置、沉积工艺等？ 4、引出的电极一般如何设计？选用材料、引出位置、长度等？ 5、输入端与输出端IDT之间的间隔一般多远？ 6、若想同时对多个衬底表面进行掩膜、光刻，而微电子所一般采用2.5inch的板，如何排布我的试样，可以保证表面基本处于同一水平位置？ 7、其他未尽事宜，也请大家多多补充，给出建议。 Note：此贴也算是对IDT设计的综合帖靶，希望大家踊跃发言，可能的话，对以后关注这方面的人也能提供点帮助，不要心疼我的金币，跟帖越多金币越多哦。 |
回复此楼» 猜你喜欢
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有108人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有1人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于如何利用声表面波滤波器产生声表面波
已经有6人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
绍兴大学博士教师招聘1位（化学化工相关）
+5/320
-
天津理工大学国家杰青王铁课题组招收2026年博士研究生
+1/85
-
浙江农林大学招收调剂
+1/80
-
【代人发帖勿站内信】【成都征男友】89年未婚博士漂亮女孩
+1/69
-
欢迎交流咨询
+1/47
-
PBAT溶解做成乳液
+1/40
-
中国科学院杭州医学研究所覃江江课题组招聘博士后
+1/34
-
华南师范大学（211）申请审核制博士招生- 电子、自动化、机械、生物学、物理相关专业
+1/25
-
招硕士调剂生
+2/24
-
26年博士自荐
+1/17
-
【深圳理工大学】院士工作站招聘博士后-电催化和有机电化学
+1/16
-
南京理工大学2026级硕士生招生-张光普博导 &硕导
+2/8
-
聊城大学化院青椒招收化学相关专业调剂学生
+1/7
-
香港大学David Srolovitz教授课题组招聘「香江学者」博士后
+1/7
-
福州大学国家级人才汤育欣教授课题组2026年招收”申请考核制“储能电池方向博士研究生
+1/6
-
26年申博自荐-计算机视觉
+1/5
-
中科院上海微系统所材料生长理论与仿真课题组-博士后招聘（材料计算与AI4S）
+1/4
-
论文投出，祈福，求好运
+1/2
-
【2026年春季补录】厦门大学田中群院士/易骏教授纳米光子学团队招收2026年入学博士生
+1/1
-
中山大学医学院赵博课题组硕士招生
+1/1
22楼2015-06-09 20:05:11
简单回复
Walnut19楼
2015-06-04 23:06
回复
zbnet(金币+1): 谢谢参与
？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
