| 查看: 3197 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
声表面波滤波器（SAW filter）之叉指换能器（IDT）设计，大家有什么好的建议没。
|
|||
|
本人想设计一种比较简单的声表面波器件，通过器件性能测试来表征AlN压电薄膜的压电系数d33、机电耦合系数等基本参数，但偶对器件设计设计基本是一窍不通，毕竟不是这个专业的（俺是搞材料的），不知道如何设计mask、光刻工艺等等后续加工步骤。 初步构想是，IDT指宽1μm，指间距等于指宽，指采用Al膜，厚度200nm，和微电子所老师沟通采用负胶（但他们毕竟不是做SAW的，没有给出过多的建议）， 那么问题来了，试样大小一般10*10mm（比较小），多片（大概5、6片吧，厚度基本一致） 1、一般指对数一般用多少（30对合适吗）？ 2、指间重叠区域的长度有什么原则？ 3、两边的吸声材料一般选择什么材料，如何设计形状位置、沉积工艺等？ 4、引出的电极一般如何设计？选用材料、引出位置、长度等？ 5、输入端与输出端IDT之间的间隔一般多远？ 6、若想同时对多个衬底表面进行掩膜、光刻，而微电子所一般采用2.5inch的板，如何排布我的试样，可以保证表面基本处于同一水平位置？ 7、其他未尽事宜，也请大家多多补充，给出建议。 Note：此贴也算是对IDT设计的综合帖靶，希望大家踊跃发言，可能的话，对以后关注这方面的人也能提供点帮助，不要心疼我的金币，跟帖越多金币越多哦。 |
回复此楼» 猜你喜欢
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有104人回复
-
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有10人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有11人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有3人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于如何利用声表面波滤波器产生声表面波
已经有6人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
陕科大环境学院招收0857和0830调剂考生【新增名额，最后一次，可跨门类】
+3/297
-
上海交通大学张万斌院士团队招聘科研助理和博士候选人
+1/87
-
中国科学院深圳先进技术研究院院士团队低维材料方向博士后招聘
+1/39
-
招收08开头的学硕专硕均可以及0703，线上复试
+1/38
-
安徽医科大学细胞生物学专业接收二轮调剂学硕研究生多名
+1/37
-
盐城师范学院生物与医药（生物技术与工程领域）还有调剂名额
+1/36
-
广西科技大学化工专业现仍有较多调剂指标，欢迎符合条件的同学申请调剂
+1/35
-
广东石油化工学院，化学工程，招收调剂生，线上面试
+2/34
-
桂林理工大学物理学专业招收调剂
+1/33
-
粤港澳大湾区量子中心与南方科技大学联合招收2026级博士生（材料、凝聚态物理方向）
+1/16
-
河南省医学科学院王宁利院士/苗彦彦研究员科研团队、伏羲慧眼云平台团队2026年博士、�
+1/11
-
国外公派博士后求助
+3/9
-
湖北文理学院物理与电子工程学院材料与化工专业研究生调剂
+1/9
-
河南省医学科学院王宁利院士科研团队博士、博后、硕士招聘（有编制/安家费/科研启动经
+1/9
-
材料与化工专业还有大量指标，欢迎大家调剂，调剂系统已经开放
+1/6
-
贵州师大 山地实验室 招教师，有编制，副教授待遇
+1/3
-
郑州大学物理学院倪佩楠教授课题组诚邀博士后、青年教师及副教授加盟
+1/2
-
2026年中国劳动关系学院环境与资源（安全工程领域）专业硕士研究生调剂复试（第三轮）
+1/2
-
香港城市大学机械系张冏博士课题组招聘先进制造方向博士后
+1/2
-
【每日皆可乐】探秘细胞因子：趋化因子家族解析
+1/1
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵 |
你好，冒昧打扰！本人想做以钽酸锂黑片为基片的声表面波滤波器，也是做测试用，本人是做晶体材料费的，想在对自己的材料做器件封装测试，希望给予指导，谢谢 发自小木虫Android客户端 |
27楼2017-06-13 20:26:46
简单回复
Walnut19楼
2015-06-04 23:06
回复
zbnet(金币+1): 谢谢参与
？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
