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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】急问关于1um左右溶胶膜层，薄膜XRD测不出 是什么原因
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【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 50837904 的 5 个金币

50837904

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】急问关于1um左右溶胶膜层，薄膜XRD测不出 是什么原因

我采用溶胶凝胶法 提拉技术 在金属基体上制备复合薄膜，底层为一种氧化物薄膜，外层为另一种氧化物薄膜，采用台阶仪测试膜厚，膜层不均匀，总的膜厚平均在1um左右，底层也是600-700nm左右，外层膜厚600-700nm左右，采用帕纳科公司的x pro系列衍射仪，但是薄膜XRD只测出很弱的底层物质的一个特征峰，外层物质没有测出来，基体的峰很强，
同时我做过粉末衍射，两种物质均为氧化物状态，且峰明显。
想问一下侧不出来的原因，是我的膜层不致密吗 还是厚度不均匀，谢谢各位虫虫了。

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-7-23 at 07:34 ]
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1楼 2008-07-22 18:35:40
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muruige1213

禁虫 (正式写手)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流
本帖内容被屏蔽
2楼2008-07-22 19:50:49
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50837904

金虫 (小有名气)
我就是用的薄膜模式 但是还是侧不出来呀
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3楼2008-07-22 23:04:40
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流
在低角区（20-40度）有没有半高宽很宽的包？如果有说明不是没测出来，是你的最外层的膜主要为非晶态。如果也没有应该是你的膜太薄了，膜的衍射信号相对于基体太弱了。
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4楼2008-07-22 23:10:52
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50837904

金虫 (小有名气)
不知道是怎么回事，我烧的凝胶粉相同时间都有晶态的峰出现，膜层1um应该还是能测得出来的 郁闷呀
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5楼2008-07-23 08:06:25
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fxf0909

至尊木虫 (职业作家)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):鼓励新虫,欢迎交流
这种情况我也遇见过，到现在也没解决，太郁闷了，而且用DRS也没解决
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在人生的海洋里，我要做靠自己双手努力前进的浆船，而不是见风使舵的帆船。
6楼2008-07-23 08:08:50
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ranon

金虫 (正式写手)
感觉应该是膜为非晶态，你把样品热处理一下，在测XRD试一下
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7楼2008-07-23 10:35:39
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hhy_china

银虫 (小有名气)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流，欢迎常来
我在测GaN薄膜（1um厚）的时候也遇到过类似情况，开始用的是单晶XRD测试仪，Single Crystal X-ray Diffractometer-Bruker （Model: Smart-APEX）什么都测不出来，后来改用Powder X-ray diffractometer_Philips （Model: PW1830）还是不行，最后使用了High Resolution X-ray Diffraction System    （Model: PW1825）就测出来了。所以我建议你试试High Resolution X-ray Diffraction。具体这三种X-ray仪器的区别我就不懂了，现在也不知道为什么能或不能测出来。有高手可以给解释一下。
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8楼2008-07-23 11:38:00
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50837904

金虫 (小有名气)
谢谢大家的解释  直到现在我还是没有解决，今天又分析了一下粉末衍射的数据 外层膜层的结晶度比较低 会不会是这个原因造成的呀
楼上的说的这个原因是不是X射线管电流电压加大，就能测出一些峰来呀

[ Last edited by 50837904 on 2008-7-25 at 01:07 ]
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9楼2008-07-24 23:35:54
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xql508

铁虫 (小有名气)
呵呵，建议开始用X射线测出两种氧化物的掠入射角，就是低角度扫描，知道最上层材料的临界掠入射角，然后以掠入射方式，用omega大于临界掠入射角，应该能测出最外层的信息
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10楼2008-08-20 07:58:36
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